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J-GLOBAL ID：201202289122664136   Reference number：12A1145300

セグメント構造ダイヤモンド状炭素膜を摩擦駆動面に用いた弾性表面波リニアモータ(第3報)-犠牲層を用いたS-DLC膜の生成方法と駆動実験-

Author (7)： ISHIKAWA YUYA (埼玉大 大学院) ,  NAKAMURA MITSURU (埼玉大 大学院) ,  NAKAMURA MITSURU (東芝プラントシステム) ,  TAKASAKI MASAYA (埼玉大 大学院) ,  TAKASHIMA MAI (東京工大 大学院) ,  OTAKE NAOTO (東京工大 大学院) ,  MIZUNO TAKESHI (埼玉大 大学院)
Material： 精密工学会誌  (Journal of the Japan Society for Precision Engineering)
Volume： 78  Issue： 8  Page： 695-699  Publication year： Aug. 05, 2012 
JST Material Number： F0268C  ISSN： 0912-0289  Document type： Article
Article type： 原著論文  Country of issue： Japan (JPN)  Language： JAPANESE (JA)

Thesaurus term： *ultrasonic motor ,  *surface acoustic wave ,  *DLC film ,  diamond-like carbon ,  *linear motor ,  segmentation ,  fine patterning ,  stator ,  vibrator ,  *friction drive ,  friction coefficient ,  wafer ,  machine element ,  chromium compound ,  Si wafer
Semi thesaurus term： sacrificial layer ,  slide block

JST classification (2)： Motors  (NB07030U) ,  Carbon and its compounds  (YB02060D)

Reference (18)：

• 1) M. Kurosawa, M. Takahashi and T. Higuchi : Friction drive surface acoustic wave motor, ELSEVIER, Ultrasonics, 34, (1996), 234.
• 2) M. Kurosawa, M. Takahashi and T. Higuchi : Ultrasonic linear motor using surface acoustic waves, IEEE Transactions on Ultrasonics, Ferroelectrics, and Frequency Control, 43, 5, (1996), 901.
• 3) T. Shigematsu, M. K. Kurosawa and K. Asai : Nanometer stepping drives of surface acoustic wave motor, IEEE Transactions on Ultrasonics, Ferroelectrics, and Frequency Control, 50, 4, (2003), 376.
• 4) T. Shigematsu, M. K. Kurosawa : Miniaturized SAW motor with 100MHz drive frequency, 電気学会論文誌E, 126, 4 (2006), 166.
• 5) 高崎 正也,黒澤 実,樋口 俊郎 : 弾性表面波リニアモータの長ストローク化,精密工学会誌, 71, 8, (2005), 990.

Terms in the title (8)： セグメント ,  ダイヤモンド状炭素 ,  摩擦駆動 ,  弾性表面波 ,  リニアモータ ,  犠牲層 ,  DLC膜 ,  実験