波長変換光学系及び紫外レーザ装置

Inventor：
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：岩崎敬
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2010174164
Publication number (International publication number)：2012032724
Application date： Aug. 03, 2010
Publication date： Feb. 16, 2012
Summary：

【課題】ARコートを施すことができない波長変換光学素子からの戻り光による影響を抑制し、長期間安定的に動作可能な波長変換光学系を提供する。【解決手段】複数の波長変換光学素子31〜36を有し、赤外〜可視領域のレーザ光を複数の波長変換光学素子により紫外領域のレーザ光に波長変換して出射する波長変換光学系30において、出射されるレーザ光が紫外領域である波長変換光学素子33,35,36の少なくともいずれかは、入射面及び出射面がレーザ光の光軸に対してn軸回りに所定の微小角度Δφ傾斜して配設される。【選択図】図1

Claim (excerpt)：

複数の波長変換光学素子を有し、入射する赤外〜可視領域のレーザ光を前記複数の波長変換光学素子により紫外領域のレーザ光に波長変換して出射する波長変換光学系であって、出射されるレーザ光が紫外領域である波長変換光学素子の少なくともいずれかは、角度位相整合で用いられ入射面及び出射面がレーザ光の光軸に対してn軸回りに所定の微小角度Δφ傾斜して配設されることを特徴とする波長変換光学系。

IPC (1)：

G02F 1/37

FI (1)：

G02F1/37

F-Term (10)：

2K002AA04 , 2K002AB12 , 2K002BA03 , 2K002CA02 , 2K002DA01 , 2K002EA10 , 2K002EA30 , 2K002GA10 , 2K002HA19 , 2K002HA20

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (7)

波長変換光学系、レーザ光源、露光装置、被検物検査装置、及び高分子結晶の加工装置
Gazette classification：公開公報 Application number：特願2005-230139 Applicant：株式会社ニコン
レーザ光発生装置
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平8-006033 Applicant：ソニー株式会社
ボレート系非線形光学結晶
Gazette classification：公開公報 Application number：特願2000-115668 Applicant：株式会社ウシオ総合技術研究所

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