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J-GLOBAL ID：201302211569879391   Reference number：13A0811172

Neutralization of space charge on high-current low-energy ion beam by low-energy electrons supplied from silicon based field emitter arrays

シリコンベース電界エミッター配列から供給される低エネルギー電子による高電流低エネルギーイオンビーム上の空間電荷の中和化

Author (7)： GOTOH Yasuhito (Kyoto Univ. Kyotodaigaku-Katsura, Kyoto, JPN) ,  TSUJI Hiroshi (Kyoto Univ. Kyotodaigaku-Katsura, Kyoto, JPN) ,  TAGUCHI Shuhei (Kyoto Univ. Kyotodaigaku-Katsura, Kyoto, JPN) ,  IKEDA Keita (Kyoto Univ. Kyotodaigaku-Katsura, Kyoto, JPN) ,  KITAGAWA Takayuki (Kyoto Univ. Kyotodaigaku-Katsura, Kyoto, JPN) ,  ISHIKAWA Junzo (Chubu Univ., Aichi, JPN) ,  SAKAI Shigeki (Nissin Ion Equipment Co., Ltd., Kyoto, JPN)
Material： AIP Conference Proceedings  (AIP Conf Proc)
Volume： 1496  Page： 368-371  Publication year： 2012 
JST Material Number： D0071C  ISSN： 0094-243X  Document type： Proceedings
Country of issue： United States (USA)  Language： ENGLISH (EN)

Terms in the title (8)： シリコン ,  電界エミッター ,  エネルギー電子 ,  高電流 ,  低エネルギー ,  イオンビーム ,  空間電荷 ,  中和