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J-GLOBAL ID：201303003339524529

弾性波デバイス

Inventor：
横山 剛

About 横山 剛

, 
岩崎 誉志紀

About 岩崎 誉志紀

, 
西原 時弘

About 西原 時弘

, 
恩田 陽介

About 恩田 陽介


Applicant, Patent owner：
太陽誘電株式会社

About 太陽誘電株式会社


Agent (1)： 片山 修平
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2012250535
Publication number (International publication number)：2013219743
Application date： Nov. 14, 2012
Publication date： Oct. 24, 2013
Summary：
【課題】大きな電気機械結合係数を有する弾性波デバイスを得ること、又は、弾性波デバイスの大型化を抑制すること。【解決手段】本発明は、2価元素と4価元素、または、2価元素と5価元素を含有する窒化アルミニウム膜からなる圧電膜26と、圧電膜26を伝搬する弾性波を励振する下部電極24および上部電極28と、を備える弾性波デバイスである。又は、本発明は、誘電率を大きくさせること及び音速を遅くさせることの少なくとも一方に寄与する元素を含有する窒化アルミニウム膜からなる圧電膜26と、圧電膜26を伝搬する弾性波を励振する下部電極24および上部電極28と、を備え、共振周波数が1.5GHz以下である弾性波デバイスである。【選択図】図2
Claim (excerpt)：
2価元素と4価元素、または、2価元素と5価元素を含有する窒化アルミニウム膜からなる圧電膜と、 前記圧電膜を伝搬する弾性波を励振する電極と、を備えることを特徴とする弾性波デバイス。
IPC (9)：
H03H 9/17 ,  H03H 9/54 ,  H03H 9/25 ,  H01L 41/09 ,  H01L 41/18 ,  H01L 41/22 ,  H01L 41/39 ,  C23C 14/06 ,  C01B 21/072
FI (10)：
H03H9/17 F ,  H03H9/54 Z ,  H03H9/25 C ,  H01L41/08 C ,  H01L41/08 L ,  H01L41/18 101Z ,  H01L41/22 Z ,  H01L41/22 A ,  C23C14/06 A ,  C01B21/072 Z
F-Term (29)：
4K029BA58 ,  4K029CA06 ,  5J097AA06 ,  5J097AA29 ,  5J097DD29 ,  5J097EE05 ,  5J097EE08 ,  5J097FF04 ,  5J097FF05 ,  5J097GG07 ,  5J097KK01 ,  5J097KK03 ,  5J097KK09 ,  5J108AA04 ,  5J108AA07 ,  5J108BB08 ,  5J108CC04 ,  5J108CC11 ,  5J108DD01 ,  5J108EE03 ,  5J108EE04 ,  5J108EE07 ,  5J108EE13 ,  5J108FF02 ,  5J108HH02 ,  5J108HH04 ,  5J108HH05 ,  5J108JJ01 ,  5J108KK07
Patent cited by the Patent：
Cited by applicant (4)
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Cited by examiner (4)
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