圧電体膜、圧電素子、圧電アクチュエーター、圧電ポンプ、インクジェット式記録ヘッド、インクジェットプリンター、表面弾性波素子、薄膜圧電共振子、周波数フィルタ、発振器、電子回路、および電子機器

Inventor： , , ,
Applicant, Patent owner：
Agent (3)：井上一 , 布施行夫 , 大渕美千栄
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2004287088
Publication number (International publication number)：2005159309
Application date： Sep. 30, 2004
Publication date： Jun. 16, 2005
Summary：

【課題】良好な圧電特性を有する圧電体膜を提供する。【解決手段】本発明に係る圧電体膜5は, Pb1-b[((X1/3Nb2/3)1-cB’c)1-aYa]O3の一般式で示され、 Xは、Mg、Zn、およびNiのうちの少なくとも一つからなり、 B’は、Zr、Ti、およびHfのうちの少なくとも一つからなり、 Yは、V、Nb、Ta、Cr、Mo、およびWのうちの少なくとも一つからなり、 aは、0.05≦a<0.30の範囲であり、 bは、0.025≦b≦0.15の範囲であり、 XがMgのとき、 cは、0.25≦c≦0.35の範囲であり、 XがNiのとき、 cは、0.30≦c≦0.40の範囲であり、 XがZnのとき、 cは,0.05≦c≦0.15の範囲である。【選択図】図1

Claim (excerpt)：

Pb1-b[((X1/3Nb2/3)1-cB’c)1-aYa]O3の一般式で示され、 Xは、Mg、Zn、およびNiのうちの少なくとも一つからなり、 B’は、Zr、Ti、およびHfのうちの少なくとも一つからなり、 Yは、V、Nb、Ta、Cr、Mo、およびWのうちの少なくとも一つからなり、 aは、0.05≦a<0.30の範囲であり、 bは、0.025≦b≦0.15の範囲であり、 XがMgのとき、 cは、0.25≦c≦0.35の範囲であり、 XがNiのとき、 cは、0.30≦c≦0.40の範囲であり、 XがZnのとき、 cは、0.05≦c≦0.15の範囲である、圧電体膜。

IPC (17)：

H01L41/187 , B41J2/045 , B41J2/055 , B41J2/16 , F04B9/00 , F04B43/04 , H01L41/08 , H01L41/09 , H01L41/22 , H01L41/24 , H03B5/30 , H03B5/32 , H03H9/02 , H03H9/17 , H03H9/25 , H03H9/64 , H03H9/72

FI (18)：

H01L41/18 101F , F04B9/00 B , F04B43/04 B , H03B5/30 A , H03B5/32 , H03H9/02 K , H03H9/17 F , H03H9/25 C , H03H9/64 Z , H03H9/72 , H01L41/18 101J , H01L41/08 L , H01L41/22 Z , H01L41/22 A , H01L41/08 J , H01L41/08 D , B41J3/04 103A , B41J3/04 103H

F-Term (51)：

2C057AF52 , 2C057AF93 , 2C057AG12 , 2C057AG44 , 2C057AN01 , 2C057AP02 , 2C057AP14 , 2C057AP25 , 2C057AP27 , 2C057AP33 , 2C057AP34 , 2C057AQ02 , 2C057BA04 , 2C057BA14 , 3H075AA07 , 3H075BB04 , 3H075BB21 , 3H075CC18 , 3H075CC36 , 3H075DA05 , 3H075DB02 , 3H075EE12 , 3H077AA06 , 3H077BB00 , 3H077CC02 , 3H077DD06 , 3H077EE01 , 3H077EE16 , 3H077EE23 , 3H077FF07 , 3H077FF08 , 3H077FF36 , 5J079AA03 , 5J079AA06 , 5J079BA00 , 5J079HA06 , 5J079HA22 , 5J097AA29 , 5J097BB15 , 5J097EE07 , 5J097EE08 , 5J097FF01 , 5J097FF03 , 5J097FF05 , 5J097KK09 , 5J097KK10 , 5J108AA06 , 5J108CC11 , 5J108JJ01 , 5J108JJ04 , 5J108KK07

Patent cited by the Patent：

Cited by applicant (8)

圧電体素子、インクジェット式記録ヘッド及びこれらの製造方法並びにインクジェットプリンタ
Gazette classification：公開公報 Application number：特願2000-030472 Applicant：セイコーエプソン株式会社
圧電体薄膜およびその製造法ならびにそれを用いたインクジェット記録ヘッド
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平8-081690 Applicant：セイコーエプソン株式会社
特開昭63-288960

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Cited by examiner (7)

圧電体薄膜およびその製造法ならびにそれを用いたインクジェット記録ヘッド
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平8-081690 Applicant：セイコーエプソン株式会社
特開昭63-288960
圧電体素子及びその製造方法、並びに該圧電体素子を用いたインクジェットヘッド及びインクジェット式記録装置
Gazette classification：公開公報 Application number：特願2004-359762 Applicant：松下電器産業株式会社

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Article cited by the Patent：

Cited by applicant (2)

Cited by examiner (2)

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