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J-GLOBAL ID:201303011129904674

散乱光検出装置および散乱光検出方法

Inventor:
Applicant, Patent owner:
Agent (2): 柳田 征史 ,  佐久間 剛
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):2011215985
Publication number (International publication number):2013076608
Application date: Sep. 30, 2011
Publication date: Apr. 25, 2013
Summary:
【課題】測定対象物に互いに波長の異なる複数種類の測定光を切り替えて照射することにより測定対象物から生じる散乱光を、精度良く検出する。【解決手段】測定対象物を支持する支持部と、支持部に支持された測定対象物に複数の測定光をそれぞれ照射可能な、互いに異なる位置に配置された複数の光源と、複数の測定光により照射された測定対象物からそれぞれ生じる散乱光を検出する検出器と、測定光の測定対象物への光路を含まない領域であって、散乱光を検出可能な領域である測定領域内に検出器を移動可能な移動機構とを備える。【選択図】図5
Claim (excerpt):
測定対象物に互いに波長の異なる複数種類の測定光を切り替えて照射することにより前記測定対象物から生じる散乱光をそれぞれ検出する散乱光検出装置であって、 前記測定対象物を支持する支持部と、 前記支持部に支持された前記測定対象物に前記複数の測定光をそれぞれ照射可能な、互いに異なる位置に配置された複数の光源と、 前記複数の測定光により照射された前記測定対象物からそれぞれ生じる散乱光を検出する検出器と、 前記測定光の前記測定対象物への光路を含まない領域であって、前記散乱光を検出可能な領域である測定領域内に前記検出器を移動可能な移動機構と、 を備えたことを特徴とする散乱光検出装置。
IPC (1):
G01N 21/49
FI (1):
G01N21/49 Z
F-Term (31):
2G058BB02 ,  2G058BB09 ,  2G058BB11 ,  2G058BB15 ,  2G058CB04 ,  2G058CC09 ,  2G058CD04 ,  2G058CD12 ,  2G058EA02 ,  2G058EA11 ,  2G058GA01 ,  2G058GC02 ,  2G058GC05 ,  2G059AA01 ,  2G059AA05 ,  2G059BB13 ,  2G059CC16 ,  2G059DD04 ,  2G059DD12 ,  2G059DD16 ,  2G059EE02 ,  2G059EE11 ,  2G059FF11 ,  2G059GG01 ,  2G059GG02 ,  2G059GG03 ,  2G059HH01 ,  2G059KK03 ,  2G059KK04 ,  2G059LL04 ,  2G059NN06
Patent cited by the Patent:
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