Pat
J-GLOBAL ID：201303011869835854
硝酸の濃度の測定方法
Inventor：
Applicant, Patent owner：
Agent (2)：
アインゼル・フェリックス=ラインハルト
, 久野 琢也
Gazette classification：公表公報
Application number (International application number)：2012552308
Publication number (International publication number)：2013519098
Application date： Feb. 10, 2011
Publication date： May. 23, 2013
Summary：
本発明は、シリコン基板の湿式化学的処理の分野に関する。本発明は、特に、基板、例えばシリコン製基板の処理のために使用される水性プロセス溶液中の硝酸の濃度の測定方法に関する。本方法は、別の物質によって引き起こされる妨害的吸収を効果的に取り除く排除剤を用いたUV分光分析法/測光法による硝酸イオンの測定を基礎とするものである。その際、硝酸イオンの濃度は、ほかならぬ硝酸の濃度に相当する。本発明によれば、酸混合物中の硝酸の含量が非常に正確に、特に未使用の酸混合物中でも、その使用目的に相応して使用された酸混合物中でも同様に測定できる丈夫な方法が提案される。
Claim (excerpt)：
NOx化合物が形成されるシリコン基板の湿式化学的処理の間に、硝酸とフッ化物含有化合物とを含有する水性媒体中の硝酸の濃度を測定する方法であって、硝酸イオンの濃度を、硝酸イオンのUV吸収スペクトルにおけるNOxを原因とする妨害を排除する少なくとも1種の剤の存在下で又は前記剤の使用下で、UV分光分析法/測光法によって測定することによって行う、前記測定方法。
IPC (1)：
FI (1)：
F-Term (10)：
2G059AA01
, 2G059BB04
, 2G059CC20
, 2G059EE01
, 2G059GG01
, 2G059GG10
, 2G059HH03
, 2G059HH06
, 2G059KK01
, 2G059NN01
Cited by examiner (5)
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