走査型プローブ顕微鏡用プローブ及びそのプローブの作製方法

Inventor： , , , ,
Applicant, Patent owner： , ,
Agent (3)：西村竜平 , 佐藤明子 , 齊藤真大
Gazette classification：特許公報
Application number (International application number)：2009099728
Publication number (International publication number)：2009276344
Patent number：5288197
Application date： Apr. 16, 2009
Publication date： Nov. 26, 2009
Claim (excerpt)：

【請求項1】光を射出することが可能な開口部を有するプローブ基体を、金属元素を含有する感光性の液体に浸漬する浸漬工程と、前記金属元素を含有する感光性の液体に前記プローブ基体を浸漬した状態で、前記プローブ基体の開口部から光を射出して光反応により金属粒子を生成する発光工程と、を備えていて、前記開口部に金属粒子が付着しているプローブを作製することを特徴とするプローブの作製方法。

IPC (1)：

G01Q 60/22 ( 201 0.01)

FI (2)：

G01Q 60/22 111 , G01Q 60/22 101

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (6)

近接場赤外顕微分光用ナノプローブ
Gazette classification：公開公報 Application number：特願2003-074793 Applicant：コニカミノルタホールディングス株式会社
表面増強振動分光分析用プローブおよびその製造方法
Gazette classification：公開公報 Application number：特願2007-128271 Applicant：キヤノン株式会社
超高密度貴金属ナノ粒子分散コンポジット薄膜を用いたセンサ及びセンサシステム
Gazette classification：公開公報 Application number：特願2008-035526 Applicant：独立行政法人産業技術総合研究所

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