DLC膜及びDLCコート金型

Inventor： , , , , ,
Applicant, Patent owner： , ,
Agent (1)：的場基憲
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2013019306
Publication number (International publication number)：2013136511
Application date： Feb. 04, 2013
Publication date： Jul. 11, 2013
Summary：

【課題】高温耐久性を始めとする保護膜として要求される種々の特性、特に耐熱性や耐融着性、表面平滑性に優れたDLC膜と、このようなDLC膜を備えたDLCコート金型を提供すること。【解決手段】DLC膜の可視光レーザを用いたラマン分光スペクトルにおいて、1000〜1200cm-1間にピークを有する特性バンドを持ち、DバンドとGバンドのピーク強度比及び面積強度比が0.2以下であり、且つ当該特性バンドとDバンドとのピーク強度比及び面積強度比が0.5以上のものとする。【選択図】図2

Claim (excerpt)：

可視光レーザを用いたラマン分光スペクトルにおいて、1000〜1200cm-1間にピークを有する特性バンドを持ち、DバンドとGバンドのピーク強度比及び面積強度比が0.2以下であり、且つ当該特性バンドとDバンドとのピーク強度比及び面積強度比が0.5以上であることを特徴とするDLC膜。

IPC (4)：

C01B 31/02 , C23C 14/24 , C03B 11/00 , B29C 33/38

FI (4)：

C01B31/02 101Z , C23C14/24 N , C03B11/00 M , B29C33/38

F-Term (32)：

4F202AJ06 , 4F202AJ09 , 4F202AJ11 , 4F202AR12 , 4F202CA09 , 4F202CA11 , 4F202CA15 , 4F202CA17 , 4F202CB01 , 4F202CD22 , 4G146AA05 , 4G146AB07 , 4G146AC15B , 4G146AC16A , 4G146AC16B , 4G146AD14 , 4G146AD19 , 4G146AD26 , 4G146BA12 , 4G146BA48 , 4G146BB23 , 4G146BC17 , 4G146BC18 , 4G146BC27 , 4K029AA02 , 4K029AA21 , 4K029BA34 , 4K029BB07 , 4K029CA01 , 4K029DB02 , 4K029DB17 , 4K029DD06

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (6)

炭素薄膜の製造方法
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平7-209597 Applicant：花王株式会社
炭素系硬質被覆層がすぐれた密着性を有する表面被覆炭化タングステン基超硬合金製切削工具
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平6-285878 Applicant：三菱マテリアル株式会社
保護膜
Gazette classification：公開公報 Application number：特願2001-342308 Applicant：財団法人理工学振興会

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Article cited by the Patent：

Cited by examiner (1)

Direct observation of sp3 bonding in tetrahedral amorphous carbon using ultraviolet Raman spectrosco

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