電気化学測定用カーボン電極およびその製造方法

Inventor： , , , , ,
Applicant, Patent owner：
Agent (3)：山川政樹 , 山川茂樹 , 小池勇三
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2012087085
Publication number (International publication number)：2013217717
Application date： Apr. 06, 2012
Publication date： Oct. 24, 2013
Summary：

【課題】接近させた2つの電極を用いる電気化学的測定で、電極パターンをあまり微細化することなく、高感度化ができるようにする。【解決手段】ステップS101で、絶縁層の上に導電性カーボン層を形成する。次に、ステップS102で、グラフェンからなる炭素層を形成する。次に、ステップS103で、導電性カーボン層および炭素層をパターニングし、交互に入り込んで対向配置されて対となる2つの櫛形電極を形成する。電気化学測定で用いる櫛形電極が、導電性カーボン層と、導電性カーボン層の上に形成されたグラフェンからなる炭素層とから構成されて形成されるようになり、電極表面にグラフェンが配置された状態となる。【選択図】図1

Claim (excerpt)：

絶縁層の上に導電性カーボン層を形成する工程と、前記導電性カーボン層の上にグラフェンからなる炭素層を形成する工程と、前記導電性カーボン層および前記炭素層をパターニングし、交互に入り込んで対向配置された2つの櫛形電極を形成する工程とを少なくとも備えることを特徴とする電気化学測定用カーボン電極の製造方法。

IPC (2)：

G01N 27/30 , G01N 27/416

FI (2)：

G01N27/30 B , G01N27/46 336G

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (9)

微小電気化学検出器
Gazette classification：公開公報 Application number：特願2008-052679 Applicant：エヌ・ティ・ティ・アドバンステクノロジ株式会社, ビーエーエス株式会社
グラフェン薄膜の製膜方法
Gazette classification：公開公報 Application number：特願2009-264804 Applicant：富士電機ホールディングス株式会社
半導体装置及びその製造方法
Gazette classification：公開公報 Application number：特願2010-203293 Applicant：富士通株式会社

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