薄層を堆積させる方法、およびこのように得られた製品

Inventor： , , ,
Applicant, Patent owner：
Agent (6)：青木篤 , 石田敬 , 古賀哲次 , 小林良博 , 出野知 , 小林直樹
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2013005679
Publication number (International publication number)：2013076170
Application date： Jan. 16, 2013
Publication date： Apr. 25, 2013
Summary：

【課題】良好な薄膜処理方法およびその製品の提供。【解決手段】本発明の主題の一つは、基材の第1の側上に堆積された少なくとも1層の薄い連続的な膜の処理のための方法であって、薄膜を連続に保ちながら、そしてこの薄膜を溶融するステップ無しで該薄膜の結晶化度を高めるように、この少なくとも1つの薄膜が少なくとも300°Cに昇温され、該第1の側とは反対側上の温度が150°C以下ように保ちたれることを特徴とする、方法。発明の別の主題は、この方法によって得ることができる材料である。【選択図】なし

Claim (excerpt)：

基材の第1の側上に堆積された少なくとも1つの薄い連続的な膜の処理のための方法であって、薄膜を連続的に保ちながら、そして該薄膜を溶融するステップなしで、該薄膜の結晶化度を高めるように、該少なくとも1つの薄膜上のそれぞれの点が少なくとも300°Cの温度まで昇温され、一方、第1の側とは反対側の該基材上のあらゆる点において、150°C以下の温度を保つことを特徴とする、方法。

IPC (1)：

C23C 14/58

FI (1)：

C23C14/58 C

F-Term (11)：

4K029AA09 , 4K029AA24 , 4K029BA46 , 4K029BA48 , 4K029BB02 , 4K029CA05 , 4K029DC39 , 4K029EA08 , 4K029GA00 , 4K029JA10 , 4K029KA03

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (10)

窓ガラス
Gazette classification：公表公報 Application number：特願2001-530073 Applicant：グラヴルベル
電波透過性波長選択基板の製造方法
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平11-157704 Applicant：セントラル硝子株式会社
浴室鏡、及びその製造方法
Gazette classification：公開公報 Application number：特願2005-176393 Applicant：東陶機器株式会社

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