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J-GLOBAL ID:201303087818673678
透過型X線発生装置及びそれを用いたX線撮影装置
Inventor:
,
Applicant, Patent owner:
Agent (2):
渡辺 敬介
, 山口 芳広
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):2011189111
Publication number (International publication number):2013051156
Application date: Aug. 31, 2011
Publication date: Mar. 14, 2013
Summary:
【課題】透過型ターゲットで反射した電子を有効利用することでX線発生効率を向上させることができる透過型X線発生装置及びそれを用いたX線撮影装置を提供する。【解決手段】電子通過路8と、ターゲット支持基板9a上に設けられた透過型ターゲット9cとを有し、電子通過路8を介して、電子を透過型ターゲット9cに照射してX線を発生させる透過型X線発生装置であって、透過型ターゲット9cが、ターゲット支持基板9aの中央領域に設けられており、透過型ターゲット9cで覆われていないターゲット支持基板9aの周縁領域の少なくとも一部が、透過型ターゲット9cから反射した電子が電子通過路8の内壁面に入射することにより生じるX線に対して、透過型ターゲット9cで覆われたターゲット支持基板9aの中央領域に比して高い透過性を有していることを特徴とする透過型X線発生装置。【選択図】図1
Claim (excerpt):
周囲を電子通過路形成部材で囲むことにより形成された電子通過路と、絶縁性のターゲット支持基板上に設けられた透過型ターゲットとを有し、
前記電子通過路を介して、電子を前記透過型ターゲットに照射してX線を発生させる透過型X線発生装置であって、
前記透過型ターゲットが、前記ターゲット支持基板の中央領域に設けられており、
前記透過型ターゲットで覆われていない前記ターゲット支持基板の周縁領域の少なくとも一部が、前記透過型ターゲットから反射した電子が前記電子通過路の内壁面に入射することにより生じるX線に対して、前記透過型ターゲットで覆われた前記ターゲット支持基板の中央領域に比して高い透過性を有していることを特徴とする透過型X線発生装置。
IPC (1):
FI (3):
H01J35/08 F
, H01J35/08 D
, H01J35/08 C
Patent cited by the Patent:
Cited by examiner (9)
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X線発生装置
Gazette classification:公開公報
Application number:特願平9-304039
Applicant:三菱重工業株式会社
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X線発生装置
Gazette classification:公開公報
Application number:特願2010-167353
Applicant:浜松ホトニクス株式会社
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X線管及びX線分析装置
Gazette classification:公開公報
Application number:特願2007-196819
Applicant:エスアイアイ・ナノテクノロジー株式会社
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X線発生用ターゲット、X線発生装置、及びX線発生用ターゲットの製造方法
Gazette classification:公開公報
Application number:特願2010-168460
Applicant:東京エレクトロン株式会社, 浜松ホトニクス株式会社
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X線管及びX線分析装置
Gazette classification:公開公報
Application number:特願2007-196817
Applicant:エスアイアイ・ナノテクノロジー株式会社
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X線発生装置、X線撮影装置及びそれらの制御方法
Gazette classification:公開公報
Application number:特願2008-032351
Applicant:キヤノン株式会社
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特開平2-297850
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特開昭60-214528
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X線発生装置
Gazette classification:公開公報
Application number:特願2008-155864
Applicant:浜松ホトニクス株式会社
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