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J-GLOBAL ID：201303088685935875
走査型プローブ顕微鏡
Inventor：
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Applicant, Patent owner：
Agent (3)：
大野 聖二
, 森田 耕司
, 田中 玲子
Gazette classification：特許公報
Application number (International application number)：2008275981
Publication number (International publication number)：2010101857
Patent number：5277378
Application date： Oct. 27, 2008
Publication date： May. 06, 2010
Claim (excerpt)：
【請求項1】 探針を有するカンチレバーと、
前記カンチレバー及び試料の相対的な走査を行うスキャナと、
前記試料に対して試料側周波数の超音波を発射する試料側超音波発射部と、
前記試料側周波数と異なるレバー側周波数の超音波を前記カンチレバーに発射するレバー側超音波発射部と、
前記カンチレバーの振動を表すレバー振動信号を検出するセンサと、
前記レバー振動信号から、非接触状態にある前記探針及び前記試料間の距離に応じて変化する特定周波数成分の信号として、前記試料側周波数及び前記レバー側周波数の差の絶対値の周波数成分である干渉信号を抽出する抽出部と、
前記干渉信号の振幅である干渉振幅を検出する振幅検出部と、
前記干渉振幅が所定の目標値に一致するように前記スキャナのフィードバック制御を行うフィードバック制御部とを備え、
前記フィードバック制御の前記目標値は、前記探針と前記試料が非接触状態で近接しているときの前記干渉振幅に設定されていることを特徴とする走査型プローブ顕微鏡。
IPC (2)：
G01Q 60/32 ( 201 0.01)
, G01Q 10/04 ( 201 0.01)
