Pat
J-GLOBAL ID:201403001897648530
ペロブスカイト型の複合酸化物をチャンネル層とする電界効果トランジスタ及びこれを利用したメモリ素子
Inventor:
,
,
,
,
,
,
Applicant, Patent owner:
Agent (3):
福田 賢三
, 福田 伸一
, 加藤 恭介
Gazette classification:特許公報
Application number (International application number):2010112133
Publication number (International publication number):2011243632
Patent number:5552638
Application date: May. 14, 2010
Publication date: Dec. 01, 2011
Claim (excerpt):
【請求項1】 ペロブスカイト構造を有し、化学式がNd1-xSmxNiO3(xは0≦x≦1を満たす実数である)で表される複合酸化物からなる単結晶膜をチャンネル層に用い、
NdGaO3単結晶からなる基板と、液状の電解質を含有するゲート絶縁層とを備え、
前記チャンネル層は、該基板上に直接に形成され、
上記ゲート絶縁層は、前記チャンネル層の露出した表面に接触し、
電荷注入により前記チャンネル層の抵抗が増大する、
ことを特徴とする電界効果トランジスタ。
IPC (3):
H01L 29/786 ( 200 6.01)
, H01L 27/10 ( 200 6.01)
, C01G 53/00 ( 200 6.01)
FI (4):
H01L 29/78 618 B
, H01L 27/10 451
, H01L 29/78 613 B
, C01G 53/00 A
Patent cited by the Patent:
Cited by applicant (6)
Show all
Cited by examiner (6)
Show all
Article cited by the Patent:
Cited by applicant (2)
Cited by examiner (2)
Return to Previous Page