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J-GLOBAL ID:201403042859458920

大気圧プラズマ処理装置、大気圧プラズマ処理装置の製造方法および大気圧プラズマ処理方法

Inventor:
Applicant, Patent owner:
Agent (1): 特許業務法人深見特許事務所
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):2012137785
Publication number (International publication number):2014002937
Application date: Jun. 19, 2012
Publication date: Jan. 09, 2014
Summary:
【課題】高電圧印加時の異常放電を抑制することができるとともに、表面処理効果を高くすることができる大気圧プラズマ処理装置、大気圧プラズマ処理装置の製造方法および大気圧プラズマ処理方法を提供する。【解決手段】電極は絶縁体の外表面上に溶射により形成されている大気圧プラズマ処理装置および大気圧プラズマ処理装置の製造方法、ならびにその装置を用いた大気圧プラズマ処理方法である。【選択図】図1
Claim (excerpt):
絶縁体と、 前記絶縁体の外表面上において、互いに対向するように配置されている一対の電極とを備え、 前記一対の電極は、前記絶縁体の前記外表面上に溶射により形成されている、大気圧プラズマ処理装置。
IPC (1):
H05H 1/24
FI (1):
H05H1/24
Patent cited by the Patent:
Cited by examiner (9)
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