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J-GLOBAL ID：201403056270527320

移動体装置、露光装置、フラットパネルディスプレイの製造方法、及びデバイス製造方法

Inventor：
青木 保夫

About 青木 保夫

, 
戸津 政浩

About 戸津 政浩


Applicant, Patent owner：
株式会社ニコン

About 株式会社ニコン


Agent (1)： 立石 篤司
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2012248951
Publication number (International publication number)：2014098732
Application date： Nov. 13, 2012
Publication date： May. 29, 2014
Summary：
【課題】制御性の向上した移動体装置を提供する。【解決手段】 基板ステージ装置20は、X軸方向に沿って所定の長ストロークで移動可能なフォロアテーブル28と、Y軸方向に延び、フォロアテーブル28と共にX軸方向に沿って移動可能なYビームガイド24aと、Yビームガイド24aに対してXY平面に沿った方向に移動自在な状態でYビームガイド24a上に設けられたファインステージ50と、フォロアテーブル28に固定子36aが設けられたX/Y軸2DOFモータを含み、ファインステージ50にY軸方向に沿った推力を作用させてYビームガイド24a上でY軸方向に沿って所定の長ストロークでファインステージ50を駆動するとともに、ファインステージ50にX軸方向に沿った推力を作用させてYビームガイド24a上でX軸方向に沿ってファインステージ50を微少ストロークで駆動する駆動系と、を備える。【選択図】図3
Claim (excerpt)：
互いに直交する第1及び第2軸を含む所定の2次元平面内の前記第1軸方向に沿って所定の長ストロークで移動可能な第1移動体と、 前記第2軸方向に延び、前記第1移動体と共に前記第1軸方向に沿って移動可能な第2移動体と、 前記第2移動体に対して前記2次元平面に沿った方向に移動自在な状態で前記第2移動体上に設けられた第3移動体と、 前記第1移動体に少なくとも一部の要素が設けられたアクチュエータを含み、前記第3移動体に前記第2軸方向に沿った推力を作用させて前記第2移動体上で前記第2軸方向に沿って所定の長ストロークで前記第3移動体を駆動するとともに、前記第3移動体に前記第1軸方向に沿った推力を作用させて前記第2移動体上で前記第1軸方向に沿って前記第3移動体を微少ストロークで駆動する駆動系と、を備える移動体装置。
IPC (4)：
G03F 7/22 ,  H01L 21/027 ,  G03F 7/20 ,  H01L 21/68
FI (4)：
G03F7/22 Z ,  H01L21/30 503B ,  G03F7/20 501 ,  H01L21/68 K
F-Term (15)：
2H097AB05 ,  2H097CA12 ,  2H097GA43 ,  2H097GB02 ,  2H097LA12 ,  5F131AA02 ,  5F131AA03 ,  5F131BA13 ,  5F131CA32 ,  5F131EA02 ,  5F131EA14 ,  5F131EA15 ,  5F131EA22 ,  5F146CC04 ,  5F146CC18
Patent cited by the Patent：
Cited by applicant (4)
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Cited by examiner (4)
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