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J-GLOBAL ID：201502213043472139   Reference number：15A1151885

PdO//Pdバッファ層を用いた{110}配向Pb(Zr,Ti)O₃(PZT)薄膜の作製と評価

Author (8)： UCHIYAMA KIYOSHI (鶴岡工高専) ,  OSHIMA NAOYA (東京工大) ,  TANAKA HIROKI (東京工大) ,  EHARA YOSHITAKA (東京工大) ,  OIKAWA TAKAHIRO (東京工大) ,  SATO TOMOYA (鶴岡工高専) ,  UCHIDA HIROSHI (上智大) ,  FUNAKUBO HIROSHI (東京工大)
Material： 日本セラミックス協会秋季シンポジウム講演予稿集(CD-ROM)
Volume： 28th  Page： ROMBUNNO.1G04  Publication year： Sep. 01, 2015 
JST Material Number： L2240B  Document type： Proceedings
Article type： 短報  Country of issue： Japan (JPN)  Language： JAPANESE (JA)

Thesaurus term： *lead zirconate titanate ,  *dielectric thin film ,  *ferroelectrics ,  substrate (plate) ,  Platinum ,  silicon ,  *sputtered deposition ,  *magnetron sputtering ,  *Palladium ,  metallic thin film ,  oxidation ,  oxide film ,  surface treatment ,  *palladium oxide ,  *buffer layer ,  perovskite type crystal ,  strontium compound ,  *ruthenium compound ,  oxoate ,  conductor ,  *MOCVD ,  *strontium ruthenate ,  ferroelectric thin film ,  surface oxidation ,  perovskite structure ,  conversion coating film
Semi thesaurus term： PZT ,  RF magnetron sputtering ,  perovskite structure ,  conductor

JST classification (3)： Oxide thin films  (BK14050P) ,  Ferroelectrics,antiferroelectrics and ferroelasticity  (BM05030B) ,  Piezoelectricity,pyroelectricity,electret  (BM05040M)

Terms in the title (12)： PdO ,  PD ,  バッファ層 ,  配向 ,  Pb ,  Zr ,  Ti ,  O3 ,  PZT ,  薄膜 ,  作製 ,  評価