電気化学測定用カーボン電極およびその製造方法

Inventor： , , , , ,
Applicant, Patent owner：
Agent (3)：山川政樹 , 山川茂樹 , 小池勇三
Gazette classification：特許公報
Application number (International application number)：2012087085
Publication number (International publication number)：2013217717
Patent number：5814173
Application date： Apr. 06, 2012
Publication date： Oct. 24, 2013
Claim (excerpt)：

【請求項1】絶縁層の上に導電性カーボン層を形成する工程と、前記導電性カーボン層の上にグラフェンからなる炭素層を形成する工程と、前記導電性カーボン層および前記炭素層をパターニングし、交互に入り込んで対向配置された2つの櫛形電極を形成する工程とを少なくとも備えることを特徴とする電気化学測定用カーボン電極の製造方法。

IPC (2)：

G01N 27/30 ( 200 6.01) , G01N 27/416 ( 200 6.01)

FI (2)：

G01N 27/30 B , G01N 27/46 336 G

Patent cited by the Patent：

Cited by applicant (9)

微小電気化学検出器
Gazette classification：公開公報 Application number：特願2008-052679 Applicant：エヌ・ティ・ティ・アドバンステクノロジ株式会社, ビーエーエス株式会社
グラフェン薄膜の製膜方法
Gazette classification：公開公報 Application number：特願2009-264804 Applicant：富士電機ホールディングス株式会社
半導体装置及びその製造方法
Gazette classification：公開公報 Application number：特願2010-203293 Applicant：富士通株式会社

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Cited by examiner (9)

微小電気化学検出器
Gazette classification：公開公報 Application number：特願2008-052679 Applicant：エヌ・ティ・ティ・アドバンステクノロジ株式会社, ビーエーエス株式会社
グラフェン薄膜の製膜方法
Gazette classification：公開公報 Application number：特願2009-264804 Applicant：富士電機ホールディングス株式会社
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Gazette classification：公開公報 Application number：特願2010-203293 Applicant：富士通株式会社

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