計測装置を備えたプラズマ発生装置及びプラズマ推進器

Inventor： , , , , , ,
Applicant, Patent owner：
Agent (2)：酒井宏明 , 高村順
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2014095399
Publication number (International publication number)：2015213020
Application date： May. 02, 2014
Publication date： Nov. 26, 2015
Summary：

【課題】プラズマの状況を安定して適切に制御可能な計測装置を備えたプラズマ発生装置。及びそれを用いたプラズマ推進器を提供すること。【解決手段】本発明の計測装置を備えたプラズマ発生装置1は、内部に導入されたガスをイオン化してプラズマを生成する放電容器100と、プラズマの発光スペクトルによりプラズマの電子密度を測定する発光モニタ200と、放電容器100に配置されたプローブ204によりプラズマの電子密度を測定するプローブ計測器205と、発光モニタ200及びプローブ計測器205によるプラズマの電子密度の測定結果に基づいてカソード103に供給する電力量、磁界分布、及び供給ガス量の少なくとも一つを制御する制御装置203と、プラズマから発光モニタ200に入光する光の光軸X1を変化させる光軸駆動部202と、を具備することを特徴とする。【選択図】図1

Claim (excerpt)：

内部に導入されたガスをイオン化してプラズマを生成するプラズマ生成部と、前記プラズマの発光スペクトルにより前記プラズマの電子密度を測定する発光分光計測装置と、前記プラズマ生成部に配置されたプローブにより前記プラズマの電子密度を測定するプローブ測定装置と、前記発光分光計測装置及び前記プローブ測定装置による前記プラズマの電子密度の測定結果に基づいて前記プラズマ生成部に供給する電力量、磁界分布、及び供給ガス量の少なくとも一つを制御する制御装置と、前記プラズマから前記発光分光計測装置に入光する光の光軸を変化させる光軸駆動部と、を具備することを特徴とする計測装置を備えたプラズマ発生装置。

IPC (5)：

H05H 1/00 , H05H 1/54 , H05H 1/46 , F03H 1/00 , H01L 21/306

FI (5)：

H05H1/00 A , H05H1/54 , H05H1/46 M , F03H1/00 A , H01L21/302 101G

F-Term (6)：

5F004BA11 , 5F004BB13 , 5F004CA02 , 5F004CA03 , 5F004CB06 , 5F004CB09

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (6)

多結晶シリコン薄膜形成方法及び薄膜形成装置
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平11-227388 Applicant：日新電機株式会社
プラズマモニタリング方法、プラズマモニタリング装置及びプラズマ処理装置
Gazette classification：公開公報 Application number：特願2004-117817 Applicant：東京エレクトロン株式会社
プラズマ装置
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平11-069902 Applicant：株式会社東芝

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