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J-GLOBAL ID：201503050871184283
光検出振動子、光波長計測装置、光波長計測方法、および光検出振動子の作製方法
Inventor：
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Applicant, Patent owner：
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Agent (3)：
山川 政樹
, 山川 茂樹
, 小池 勇三
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2013171972
Publication number (International publication number)：2015040767
Application date： Aug. 22, 2013
Publication date： Mar. 02, 2015
Summary：
【課題】光波長の計測を高精度、安価に実現する光検出振動子とその作製方法およびそれを用いた光波長計測装置を提供する。【解決手段】光検出振動子1は、DLC製の微小機械振動子2と、微小機械振動子2の上に配置された、所望の光波長に対して熱吸収率が波長依存性を有するナノ周期構造3と、Si製の支持部4とから構成されている。光検出振動子1に光を照射すると、ナノ周期構造3において表面プラズモン共鳴による光の異常透過現象が励起され、ナノ周期構造3の熱吸収率の光波長依存性に応じて微小機械振動子2に応力変化が生じ、微小機械振動子2の振動特性に変化が生じる。この振動特性の変化に基づいて、光検出振動子1に照射された光の波長を求める。【選択図】図1
Claim (excerpt)：
基板上に形成された支持部によって前記基板から浮いた状態で支持される微小機械振動子と、
この微小機械振動子の上または周囲に配置された、所望の光波長に対して熱吸収率が波長依存性を有するナノ周期構造とを備えることを特徴とする光検出振動子。
IPC (1)：
FI (1)：
Patent cited by the Patent：
Cited by examiner (9)
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赤外線センサ及び赤外線撮像素子
Gazette classification：公開公報
Application number：特願2003-201655
Applicant：株式会社東芝
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半導体光素子および半導体光装置
Gazette classification：公開公報
Application number：特願2012-072664
Applicant：三菱電機株式会社
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センサ装置
Gazette classification：公開公報
Application number：特願平7-275046
Applicant：オムロン株式会社
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