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J-GLOBAL ID：201603008915470914

走査プローブ顕微鏡のカンチレバー及びその製造方法、並びに熱アシスト磁気ヘッド素子の検査方法及びその装置

Inventor： 張 開鋒 ,  廣瀬 丈師 ,  渡辺 正浩 ,  中込 恒夫 ,  本間 真司 ,  徳冨 照明 ,  中田 俊彦 ,  立▲崎▼ 武弘
Applicant, Patent owner： 株式会社日立ハイテクノロジーズ
Agent (1)： ポレール特許業務法人
Gazette classification：特許公報
Application number (International application number)：2012116361
Publication number (International publication number)：2013101099
Patent number：5832374
Application date： May. 22, 2012
Publication date： May. 23, 2013
Claim (excerpt)：

【請求項1】 試料表面の磁界と近接場光を計測する走査プローブ顕微鏡のカンチレバーであって、 板状の部材で形成されたレバーと、 該レバーの先端部分に形成された探針とを有し、 該探針の表面には磁性膜が形成され、該磁性体膜の表面には貴金属又は貴金属を含む合金の微粒子又は薄膜が形成されていることを特徴とする走査プローブ顕微鏡のカンチレバー。

IPC (6)：

G01Q 70/08 ( 201 0.01) ,  G11B 5/455 ( 200 6.01) ,  G01Q 60/22 ( 201 0.01) ,  G01Q 60/54 ( 201 0.01) ,  G01Q 80/00 ( 201 0.01) ,  G11B 7/135 ( 201 2.01)

FI (9)：

G01Q 70/08 ,  G11B 5/455 C ,  G01Q 60/22 101 ,  G01Q 60/54 101 ,  G01Q 80/00 101 ,  G11B 7/135 Z ,  G01Q 60/22 111 ,  G01Q 60/54 111 ,  G11B 5/455 Z

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (4)

• ティップ型プローブ製造方法、ティップ型プローブ及びティップ型プローブ製造装置
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願2008-039862   Applicant：セイコーインスツル株式会社
• SPMプローブおよび発光部検査装置
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願2010-188651   Applicant：株式会社日立ハイテクノロジーズ
• 熱アシスト磁気ヘッド素子の検査方法及びその装置
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願2012-116362   Applicant：株式会社日立ハイテクノロジーズ
• 磁気ヘッド検査方法、磁気ヘッド検査装置、及び磁気ヘッド製造方法
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願2008-263746   Applicant：株式会社日立ハイテクノロジーズ