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J-GLOBAL ID：201603015177879370

薄膜型水素ガスセンサ

Inventor：
塚田 啓二

About 塚田 啓二

, 
紀和 利彦

About 紀和 利彦

, 
堺 健司

About 堺 健司


Applicant, Patent owner：
国立大学法人 岡山大学

About 国立大学法人 岡山大学


Gazette classification：特許公報
Application number (International application number)：2014206664
Publication number (International publication number)：2016075597
Patent number：5936087
Application date： Oct. 07, 2014
Publication date： May. 12, 2016
Claim (excerpt)：
【請求項1】 絶縁体基板の上面に白金薄膜で形成した抵抗体を設けて、この抵抗体の抵抗の変動を検出することで水素ガスの濃度変化を検出する薄膜型水素ガスセンサにおいて、 水素ガスとの接触によって抵抗が変化する第1の抵抗体と、 水素ガスとの接触によって第1の抵抗体よりも小さく抵抗が変化する第2の抵抗体と を備え、 第1の抵抗体と第2の抵抗体は、それぞれ絶縁体基板の上面に設けた金属薄膜から成る金属接着層上に形成することで、第1の抵抗体と絶縁体基板との間に第1の金属接着層を設けるとともに、第2の抵抗体と絶縁体基板との間に第2の金属接着層を設け、 第1の抵抗体と第1の金属接着層とによる第1の複合抵抗体の抵抗の温度係数と、第2の抵抗体と第2の金属接着層とによる第2の複合抵抗体の抵抗の温度係数を、第1の金属接着層の膜厚と第2の金属接着層の膜厚とを調整することで一致させ、 第1の抵抗体と第2の抵抗体とは直列に接続して、互いの抵抗値の差によって出力される電圧に基づいて水素ガスの濃度変化を検出する薄膜型水素ガスセンサ。
IPC (1)：
G01N 27/12 ( 200 6.01)
FI (1)：
G01N 27/12 B
Patent cited by the Patent：
Cited by examiner (4)
  • 静電容量式湿度センサ
    Gazette classification：公開公報   Application number：特願2004-325518   Applicant：株式会社日本自動車部品総合研究所, 株式会社デンソー
  • ガス検知装置および空調機器
    Gazette classification：公開公報   Application number：特願平9-091742   Applicant：秩父小野田株式会社
  • 温度補償用薄膜コンデンサ
    Gazette classification：公開公報   Application number：特願2000-256405   Applicant：アルプス電気株式会社
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Article cited by the Patent：
Cited by examiner (3)

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