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J-GLOBAL ID：201603019656778273
微小材料ひずみ計測装置及びその方法
Inventor：
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Applicant, Patent owner：
Agent (3)：
牧野 剛博
, 松山 圭佑
, 須藤 修三
Gazette classification：特許公報
Application number (International application number)：2012518419
Patent number：5879621
Application date： Jun. 01, 2011
Claim (excerpt)：
【請求項1】微小材料に引張応力または圧縮応力を加えて該微小材料にひずみを発生させるとともに該引張応力または圧縮応力を計測するひずみ発生部と、該ひずみによる該微小材料の変形を計測する計測部と、を有する微小材料ひずみ計測装置であって、
前記計測部に、前記微小材料の計測対象領域を照射する白色光源と、該白色光源で照射された該計測対象領域からの光である測定光と該白色光源から分岐された光で照射された参照鏡からの光である参照光とによって形成される干渉光を検出する2次元光電センサと、該干渉光を該2次元光電センサに受光させるとともに前記参照鏡を備える第1対物レンズと、該第1対物レンズの光軸方向で該第1対物レンズとの位置関係が一定とされるとともに該第1対物レンズと一緒に移動されることで自身の焦点位置が該2次元光電センサにおける前記計測対象領域の結像状態から自動調整され且つ光軸上の該第1対物レンズと入れ替え可能な第2対物レンズと、該光軸方向における相対的な走査で前記干渉光のコントラストが最大となる該第1対物レンズの位置から前記計測対象領域の3次元形状を測定するとともに、該3次元形状に基づいて該計測対象領域における変位を計測する上で基準となる位置である標点を複数定め且つ該複数の標点間の距離を計測する画像処理装置と、を備え、且つ、
前記ひずみ発生部に、前記微小部材を保持するための2つのチャック部と、該2つのチャック部の一方を支持し前記引張応力または圧縮応力を計測する応力検出手段と、該2つのチャック部の距離を変化させることで前記ひずみを発生させる移動機構と、を備え、
前記自動調整された前記第2対物レンズの位置に従い前記第1対物レンズの光軸上の位置が初期的に定められ、該移動機構により前記ひずみを前記微小材料に発生させた際には、前記応力検出手段によって計測された前記引張応力または圧縮応力と、前記初期的に定められた位置から前記第1対物レンズが前記光軸方向で相対的に走査されることで、前記ひずみで変化した前記複数の標点が見失われることなく追従して特定されて計測された該複数の標点間の距離とに基づいて、前記引張応力また圧縮応力に対する前記ひずみが計測される
ことを特徴とする微小材料ひずみ計測装置。
IPC (2)：
G01N 3/06 ( 200 6.01)
, G01N 3/08 ( 200 6.01)
Cited by examiner (6)
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3次元形状測定装置
Gazette classification：公開公報
Application number：特願平11-119993
Applicant：オリンパス光学工業株式会社
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薄膜特性評価装置
Gazette classification：公開公報
Application number：特願平7-121649
Applicant：ホーヤ株式会社
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レーザ非接触歪み計
Gazette classification：公開公報
Application number：特願平8-112713
Applicant：株式会社島津製作所
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Article cited by the Patent：
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