検査システム

Inventor： , , , ,
Applicant, Patent owner： ,
Agent (4)：青木宏義 , 天田昌行 , 岡田喜雅 , 北川雅章
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2016112961
Publication number (International publication number)：2017219382
Application date： Jun. 06, 2016
Publication date： Dec. 14, 2017
Summary：

【課題】被測定物の厚み内の空洞や厚みの減肉の検査に要する負担を軽減でき、検査時間の短縮化を図る検査システムを提供する。【解決手段】被測定物を挟んで配置される線源部及び放射線検出部12を備えて放射線検査装置が構成されている。放射線検出部12は、線源部から放射されて配管を透過した放射線の計数値を検出する。放射線検査装置は、被測定物の放射線投影画像となる実測画像と、被測定物の三次元設計データ及び放射線透過に関する関連データに基づいて生成された実測画像に対する予測画像とを用いる。放射線検出装置は、実測画像と予測画像との差分を求める比較部34と、比較部で求めた差分と閾値との比較に基づき、被測定物の良否を判定する判定データを作成する良否判定部35とを備えている。【選択図】図3

Claim (excerpt)：

部品又は製品からなる被測定物を挟んで配置される線源部及び放射線検出部を備え、前記線源部から照射されて被測定物を透過した放射線の前記計数値を前記放射線検出部で検出する検査システムであって、前記放射線検出部が検出した検出データに基づいて被測定物の放射線投影画像となる実測画像を生成する実測画像生成部と、被測定物の三次元設計データと、被測定物の放射線透過に関する関連データとに基づいて生成された前記実測画像に対する予測画像を蓄積する予測画像蓄積部と、前記実測画像と前記予測画像との差分を求める比較部と、前記比較部で求めた差分と所定の閾値との比較に基づき、被測定物の良否を判定する判定データを作成する良否判定部とを備えていることを特徴とする検査システム。

IPC (1)：

G01N 23/04

FI (1)：

G01N23/04

F-Term (7)：

2G001AA01 , 2G001BA11 , 2G001CA01 , 2G001JA09 , 2G001KA03 , 2G001LA02 , 2G001PA11

Patent cited by the Patent：

Cited by applicant (6)

X線検査方法及びX線検査装置
Gazette classification：公開公報 Application number：特願2012-153610 Applicant：東京エレクトロン株式会社
放射線非破壊検査システム及び配管の検査方法
Gazette classification：公開公報 Application number：特願2007-250402 Applicant：株式会社日立製作所
積層板の検査装置及び検査方法
Gazette classification：公開公報 Application number：特願2007-306597 Applicant：パナソニック電工株式会社

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Cited by examiner (5)

X線検査方法及びX線検査装置
Gazette classification：公開公報 Application number：特願2012-153610 Applicant：東京エレクトロン株式会社
放射線非破壊検査システム及び配管の検査方法
Gazette classification：公開公報 Application number：特願2007-250402 Applicant：株式会社日立製作所
積層板の検査装置及び検査方法
Gazette classification：公開公報 Application number：特願2007-306597 Applicant：パナソニック電工株式会社

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