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J-GLOBAL ID:201203075101744435

X線異物検出装置

Inventor:
Applicant, Patent owner:
Agent (1): 有我 軍一郎
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):2011075651
Publication number (International publication number):2012208084
Application date: Mar. 30, 2011
Publication date: Oct. 25, 2012
Summary:
【課題】異物検出の閾値を高感度な状態に保ち、異物の誤検出を防ぎつつ高精度に検出することができるX線異物検出装置を提供すること。【解決手段】被検査物WにX線を照射して検出したX線透過量を表すX線画像に対して、複数の画像処理フィルタを組み合わせてなる複数の異物強調処理を用いてそれぞれ並列に画像処理を行う画像処理部50と、複数の異物強調処理を施した結果の濃淡画像から、それぞれ所定の閾値を用いて異物候補を検出する複数の異物候補検出部61〜64と、X線画像上の同じ箇所で複数の異物候補検出部61〜64によって異物候補が検出され、かつ、それらの異物候補が予め設定された異物の有無を判定するための複数の異物強調処理に対する異物候補の組合せであるときに、被検査物W中に異物が有ると判定する異物判定部44と、を備えた。【選択図】図2
Claim (excerpt):
被検査物(W)にX線を照射して検出したX線透過量を表すX線画像に対して、複数の画像処理フィルタを組み合わせてなる複数の異物強調処理を用いてそれぞれ並列に画像処理を行う画像処理手段(50)と、 前記複数の異物強調処理を施した結果の濃淡画像から、それぞれ所定の閾値を用いて異物候補を検出する複数の異物候補検出手段(61〜64)と、 前記X線画像上の同じ箇所で前記複数の異物候補検出手段によって異物候補が検出され、かつ、それらの異物候補が予め設定された異物の有無を判定するための前記複数の異物強調処理に対する異物候補の組合せであるときに、前記被検査物中に異物が有ると判定する異物判定手段(44)と、を備えたことを特徴とするX線異物検出装置。
IPC (1):
G01N 23/04
FI (1):
G01N23/04
F-Term (19):
2G001AA01 ,  2G001BA11 ,  2G001CA01 ,  2G001DA01 ,  2G001DA02 ,  2G001DA08 ,  2G001FA01 ,  2G001FA06 ,  2G001HA07 ,  2G001HA20 ,  2G001JA09 ,  2G001JA13 ,  2G001JA16 ,  2G001KA03 ,  2G001KA05 ,  2G001LA01 ,  2G001PA11 ,  2G001SA10 ,  2G001SA13
Patent cited by the Patent:
Cited by examiner (9)
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