非蒸発型ゲッタポンプ

Inventor： ,
Applicant, Patent owner：
Agent (2)：杉村憲司 , 神紘一郎
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2015233674
Publication number (International publication number)：2017101571
Application date： Nov. 30, 2015
Publication date： Jun. 08, 2017
Summary：

【課題】本発明は、より効率的に排気速度を高めることが可能な非蒸発型ゲッタポンプを提供することを目的とする。【解決手段】ヒーターと、該ヒーターを中心として放射状に配置されている非蒸発型ゲッタ材3とを備えることを特徴とする。非蒸発型ゲッタ材は、複数の非蒸発型ゲッタピル3pからなる、非蒸発型ゲッタポンプ1。【選択図】図1

Claim (excerpt)：

ヒーターと、該ヒーターを中心として放射状に配置されている非蒸発型ゲッタ材とを備えることを特徴とする、非蒸発型ゲッタポンプ。

IPC (1)：

F04B 37/02

FI (1)：

F04B37/02 A

F-Term (3)：

3H076AA24 , 3H076BB21 , 3H076CC55

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (4)

非蒸発型ゲッタ材、非蒸発型ゲッタモジュール、及び非蒸発型ゲッタポンプ
Gazette classification：公開公報 Application number：特願2014-210649 Applicant：大学共同利用機関法人高エネルギー加速器研究機構
ゲッター部材収納具、ゲッター装置及びゲッターポンプ
Gazette classification：公開公報 Application number：特願2014-011506 Applicant：有限会社真空実験室
特表平7-509036

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