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J-GLOBAL ID：201803007202448828

移動体装置、露光装置、フラットパネルディスプレイの製造方法、およびデバイス製造方法

Inventor： 藤本 博志 ,  居村 岳広 ,  佐藤 基 ,  矢崎 雄馬 ,  大西 亘 ,  西村 拓朗 ,  坂田 晃一 ,  原 篤史 ,  長沢 昌弥 ,  陳 照祥 ,  横山 和弘
Applicant, Patent owner： 国立大学法人 東京大学 ,  株式会社ニコン
Agent (2)： 片山 修平 ,  大竹 俊成
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2016190382
Publication number (International publication number)：2018054847
Application date： Sep. 28, 2016
Publication date： Apr. 05, 2018
Summary：

【課題】ケーブルによる外乱を低減する。【解決手段】移動体装置は、固定部に対して、移動可能な移動体と、前記固定部に設けられ、電磁誘導現象又は磁界共振現象を利用して電力を送電する第1送電部と、前記移動体に設けられ、前記第1送電部が送電した電力を受電する受電部と、を備える。【選択図】図2

Claim (excerpt)：

固定部に対して、移動可能な移動体と、 前記固定部に設けられ、電磁誘導現象又は磁界共振現象を利用して電力を送電する第1送電部と、 前記移動体に設けられ、前記第1送電部が送電した電力を受電する受電部と、 を備える移動体装置。

IPC (6)：

G03F 7/20 ,  H01L 21/677 ,  H01L 21/683 ,  H02J 50/12 ,  H02J 50/80 ,  H02J 50/50

FI (6)：

G03F7/20 521 ,  H01L21/68 A ,  H01L21/68 N ,  H02J50/12 ,  H02J50/80 ,  H02J50/50

F-Term (31)：

2H197AA09 ,  2H197CA05 ,  2H197CA08 ,  2H197CC01 ,  2H197CD12 ,  2H197CD13 ,  2H197CD35 ,  2H197CD50 ,  2H197DA09 ,  2H197FB01 ,  2H197FB03 ,  2H197HA03 ,  2H197HA05 ,  5F131AA03 ,  5F131AA32 ,  5F131AA33 ,  5F131BA13 ,  5F131EA02 ,  5F131EA14 ,  5F131EA15 ,  5F131EA22 ,  5F131EA23 ,  5F131EA24 ,  5F131EA25 ,  5F131EA27 ,  5F131KA03 ,  5F131KA16 ,  5F131KA44 ,  5F131KA54 ,  5F131KB12 ,  5F131KB53

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (5)

• 移動体装置、露光装置、及びデバイス製造方法
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願2013-046987   Applicant：株式会社ニコン
• 移動体装置、露光装置、フラットパネルディスプレイの製造方法、及びデバイス製造方法
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願2012-248951   Applicant：株式会社ニコン
• ステージ装置、露光装置、デバイスの製造方法
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願2005-309831   Applicant：株式会社ニコン
• 電池内蔵機器と充電台
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願2010-129487   Applicant：三洋電機株式会社
• 救援システム及び救援指示装置及び救援装置及び対象装置及びコンピュータプログラム及び救援指示方法
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願2011-098017   Applicant：三菱電機株式会社