移動体装置、露光装置、フラットパネルディスプレイの製造方法、およびデバイス製造方法

Inventor： , , , , , , , , , ,
Applicant, Patent owner： ,
Agent (2)：片山修平 , 大竹俊成
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2016190382
Publication number (International publication number)：2018054847
Application date： Sep. 28, 2016
Publication date： Apr. 05, 2018
Summary：

【課題】ケーブルによる外乱を低減する。【解決手段】移動体装置は、固定部に対して、移動可能な移動体と、前記固定部に設けられ、電磁誘導現象又は磁界共振現象を利用して電力を送電する第1送電部と、前記移動体に設けられ、前記第1送電部が送電した電力を受電する受電部と、を備える。【選択図】図2

Claim (excerpt)：

固定部に対して、移動可能な移動体と、前記固定部に設けられ、電磁誘導現象又は磁界共振現象を利用して電力を送電する第1送電部と、前記移動体に設けられ、前記第1送電部が送電した電力を受電する受電部と、を備える移動体装置。

IPC (6)：

G03F 7/20 , H01L 21/677 , H01L 21/683 , H02J 50/12 , H02J 50/80 , H02J 50/50

FI (6)：

G03F7/20 521 , H01L21/68 A , H01L21/68 N , H02J50/12 , H02J50/80 , H02J50/50

F-Term (31)：

2H197AA09 , 2H197CA05 , 2H197CA08 , 2H197CC01 , 2H197CD12 , 2H197CD13 , 2H197CD35 , 2H197CD50 , 2H197DA09 , 2H197FB01 , 2H197FB03 , 2H197HA03 , 2H197HA05 , 5F131AA03 , 5F131AA32 , 5F131AA33 , 5F131BA13 , 5F131EA02 , 5F131EA14 , 5F131EA15 , 5F131EA22 , 5F131EA23 , 5F131EA24 , 5F131EA25 , 5F131EA27 , 5F131KA03 , 5F131KA16 , 5F131KA44 , 5F131KA54 , 5F131KB12 , 5F131KB53

Patent cited by the Patent：

Cited by applicant (5)

移動体装置、露光装置、及びデバイス製造方法
Gazette classification：公開公報 Application number：特願2013-046987 Applicant：株式会社ニコン
移動体装置、露光装置、フラットパネルディスプレイの製造方法、及びデバイス製造方法
Gazette classification：公開公報 Application number：特願2012-248951 Applicant：株式会社ニコン
ステージ装置、露光装置、デバイスの製造方法
Gazette classification：公開公報 Application number：特願2005-309831 Applicant：株式会社ニコン

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