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J-GLOBAL ID：201303031504121284

移動体装置、露光装置、及びデバイス製造方法

Inventor：
田中 慶一

About 田中 慶一


Applicant, Patent owner：
株式会社ニコン

About 株式会社ニコン


Agent (1)： 立石 篤司
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2013046987
Publication number (International publication number)：2013149996
Application date： Mar. 08, 2013
Publication date： Aug. 01, 2013
Summary：
【課題】ウエハの位置制御性が向上したウエハステージ装置を提供する。【解決手段】 送電・廃熱フレーム(24A,24B)が、ウエハステージ(WST1、WST2)から輻射した熱を常時吸収することができるので、ウエハステージ(WST1、WST2)において発生する熱による露光精度への影響を抑制することが可能となる。この場合、従来のように、ウエハステージ(WST1、WST2)に冷媒を供給する配管(チューブ)を外部から接続する必要がないため、配管の張力によるウエハステージ(WST1、WST2)の移動精度の低下を防止することができ、この点からも露光精度を高精度に維持することが可能となる。【選択図】図2
Claim (excerpt)：
放熱部を有する移動体と、 該移動体を所定面内で二次元駆動する駆動装置と、 前記移動体とは非接触に設けられ、前記移動体から輻射した熱を吸収する廃熱部材と、を備え、 前記廃熱部材と前記放熱部とはその一方が前記所定面内の一軸方向に関して所定範囲に渡り、かつ他方が前記所定面内で前記一軸方向に直交する方向に関して所定範囲に渡って設けられる移動体装置。
IPC (3)：
H01L 21/027 ,  G03F 7/20 ,  H01L 21/68
FI (4)：
H01L21/30 515G ,  H01L21/30 516E ,  G03F7/20 501 ,  H01L21/68 K
F-Term (37)：
2H097LA10 ,  2H097LA11 ,  5F131AA02 ,  5F131BA13 ,  5F131CA18 ,  5F131DA09 ,  5F131DA33 ,  5F131DA42 ,  5F131DB87 ,  5F131DC18 ,  5F131DD43 ,  5F131DD76 ,  5F131EA02 ,  5F131EA03 ,  5F131EA22 ,  5F131EA24 ,  5F131EA25 ,  5F131EA27 ,  5F131EB11 ,  5F131EB78 ,  5F131EB82 ,  5F131FA17 ,  5F131FA26 ,  5F131JA12 ,  5F131JA34 ,  5F131KA13 ,  5F131KA14 ,  5F131KA16 ,  5F131KB07 ,  5F131KB32 ,  5F131KB58 ,  5F146CC01 ,  5F146CC04 ,  5F146CC19 ,  5F146DA26 ,  5F146DB02 ,  5F146DC12
Patent cited by the Patent：
Cited by examiner (7)
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