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J-GLOBAL ID：200903006209887987

ステージ装置、露光装置、デバイスの製造方法

Inventor：
山口 敦史

About 山口 敦史

, 
辻 寿彦

About 辻 寿彦

, 
丑丸 仁志

About 丑丸 仁志

, 
堀川 浩人

About 堀川 浩人


Applicant, Patent owner：
株式会社ニコン

About 株式会社ニコン


Agent (4)： 志賀 正武 ,  高橋 詔男 ,  青山 正和 ,  西 和哉
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2005309831
Publication number (International publication number)：2007123334
Application date： Oct. 25, 2005
Publication date： May. 17, 2007
Summary：
【課題】ステージ装置の耐久性及び位置決め精度の向上を図ることができるステージ装置、露光装置等を提供する。 【解決手段】電動部60を搭載した移動ステージを有するステージ装置であって、移動ステージに対して非接触状態で電力を供給する電力供給部102と、移動ステージに設けられて電力供給部102からの電力を受給すると共に電動部60に対して受給した電力を伝送する電力受給部104と、電動部60を制御する制御部20と、を備える。 【選択図】図4
Claim (excerpt)：
電動部を搭載した移動ステージを有するステージ装置であって、 前記移動ステージに対して非接触状態で電力を供給する電力供給部と、 前記移動ステージに設けられて前記電力供給部からの電力を受給すると共に前記電動部に対して受給した電力を伝送する電力受給部と、 前記電動部を制御する制御部と、 を備えることを特徴とするステージ装置。
IPC (3)：
H01L 21/027 ,  G03F 7/20 ,  H01L 21/68
FI (3)：
H01L21/30 515G ,  G03F7/20 521 ,  H01L21/68 K
F-Term (34)：
5F031CA02 ,  5F031CA07 ,  5F031FA01 ,  5F031FA07 ,  5F031FA12 ,  5F031GA02 ,  5F031HA10 ,  5F031HA13 ,  5F031HA33 ,  5F031HA53 ,  5F031HA56 ,  5F031HA60 ,  5F031JA01 ,  5F031JA02 ,  5F031JA05 ,  5F031JA14 ,  5F031JA17 ,  5F031JA22 ,  5F031JA38 ,  5F031JA49 ,  5F031KA06 ,  5F031KA07 ,  5F031LA08 ,  5F031LA18 ,  5F031MA27 ,  5F046AA17 ,  5F046AA23 ,  5F046BA03 ,  5F046CC01 ,  5F046CC04 ,  5F046CC13 ,  5F046DA01 ,  5F046DA04 ,  5F046DA13
Patent cited by the Patent：
Cited by applicant (2)
  • 特開平1-214042号公報
  • 基板保持装置及び露光装置
    Gazette classification：公開公報   Application number：特願2002-054004   Applicant：株式会社ニコン
Cited by examiner (17)
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