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J-GLOBAL ID：201803017332538344

有機TFTアレイ検査装置及びその方法

Inventor： 堤 潤也 ,  松岡 悟志 ,  山田 寿一 ,  長谷川 達生
Applicant, Patent owner： 国立研究開発法人産業技術総合研究所
Agent (1)： 速水 進治
Gazette classification：特許公報
Application number (International application number)：2016542585
Patent number：6238389
Application date： Aug. 11, 2015
Claim (excerpt)：

【請求項1】 有機半導体薄膜トランジスタ(TFT)アレイを光学的に撮像して検査する方法であって、各有機TFTにおいてソースとドレインを短絡させ、短絡させた前記ソース及び前記ドレインのうちの少なくとも一方とゲートとの間に所定周期で電圧をオン・オフさせるとともに、単色光を照射しながら前記所定周期に同期させて電圧の印加前後の撮像を行ってこの差イメージを得ることを特徴とする有機TFTアレイの検査方法。

IPC (3)：

H01L 21/66 ( 200 6.01) ,  H01L 21/336 ( 200 6.01) ,  H01L 29/786 ( 200 6.01)

FI (2)：

H01L 21/66 J ,  H01L 29/78 624

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (3)

• 有機薄膜トランジスタの評価方法
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願2011-132799   Applicant：独立行政法人産業技術総合研究所, 富士電機株式会社
• 電界分布又はキャリア分布を高次高調波の強度に基づいて検出する検出装置及びその検出方法
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願2007-058219   Applicant：国立大学法人東京工業大学
• 有機半導体電界効果トランジスタの評価装置及び特性測定方法。
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願2005-256713   Applicant：国立大学法人東京工業大学

Article cited by the Patent：

Cited by examiner (3)

• “Gate-modulation imaging of organic thin-film transistor arrays: Visualization of distributed mobil
• “電荷変調イメージング法による有機薄膜トランジスタの劣化機構解析”
• “ゲート変調イメージングによる多結晶有機薄膜トランジスタの蓄積キャリアマッピングII”