摺動部材およびその製造方法

Inventor： , , ,
Applicant, Patent owner： ,
Agent (4)：平木祐輔 , 渡辺敏章 , 石川滝治 , 美馬保彦
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2016190212
Publication number (International publication number)：2018053307
Application date： Sep. 28, 2016
Publication date： Apr. 05, 2018
Summary：

【課題】潤滑油中の環境下において、これまでに比べてより低い摩擦係数を確保することができる摺動部材およびその製造方法を提供する。【解決手段】摺動部材10の非晶質炭素被膜12は、単結合により3つの炭素原子が配位された窒素原子の個数をAとし、単結合および二重結合により2つの炭素原子が配位された窒素原子の個数をBとしたときに、非晶質炭素被膜12に対してX線光電子分光分析により得られる非晶質炭素被膜12のA/Bの値が、10以上、18以下となる関係を満たす。摺動部材10の製造方法では、基材11の表面に向けて窒素イオンビームを照射すると共に、カーボンターゲットTに電子ビームEを照射することにより、カーボンターゲットTの一部を基材11の表面に蒸着させながら非晶質炭素被膜12を成膜する。カーボンターゲットTに照射する電子ビームEの出力は、30W以上、50W以下である。【選択図】図11

Claim (excerpt)：

基材の表面に、窒素原子を含有した非晶質炭素被膜を有し、潤滑油中で摺動する摺動部材であって、単結合により3つの炭素原子が配位された窒素原子の個数をAとし、単結合および二重結合により2つの炭素原子が配位された窒素原子の個数をBとしたときに、前記非晶質炭素被膜に対してX線光電子分光分析により得られる前記非晶質炭素被膜のA/Bの値が、10以上、18以下であることを特徴とする摺動部材。

IPC (2)：

C23C 14/06 , C23C 14/48

FI (2)：

C23C14/06 F , C23C14/48 D

F-Term (11)：

4K029AA02 , 4K029AA06 , 4K029AA11 , 4K029BA34 , 4K029BB10 , 4K029BD04 , 4K029CA09 , 4K029DB05 , 4K029DB21 , 4K029EA09 , 4K029FA04

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (6)

被覆摺動部材
Gazette classification：公開公報 Application number：特願2014-187450 Applicant：株式会社リケン
複合硬質炭素膜及びその製造方法並びに摺動部材
Gazette classification：公開公報 Application number：特願2007-173168 Applicant：トヨタ自動車株式会社, 国立大学法人名古屋大学
硬質被膜および硬質被膜被覆工具
Gazette classification：公開公報 Application number：特願2007-073718 Applicant：オーエスジー株式会社

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Article cited by the Patent：

Cited by examiner (1)

CNx膜の硬さに及ぼす成膜時基板温度・窒素イオンビーム加速電圧・成膜速度の影響

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