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J-GLOBAL ID：201803018783087261
微小物理量測定器
Inventor：
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Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
特許業務法人アイテック国際特許事務所
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2017007547
Publication number (International publication number)：2018115983
Application date： Jan. 19, 2017
Publication date： Jul. 26, 2018
Summary：
【課題】変形可能な微小な測定対象の変形量やバネ定数などの物理量を精度良く測定する。【解決手段】微小物理量測定器は、測定対象に当接する第1当接部を片持ち梁状に支持する第1支持部と、当接面に当接する第2当接部を片持ち梁状に支持する第2支持部と、第1支持部と第2支持部とを連結する連結部と、所定力を作用させたときの第1支持部の変形による連結部に対する変位を検出する第1変位検出部と、所定力を作用させたときの第2支持部の変形による連結部に対する変位を検出する第2変位検出部と、を備える。作用させた力と第1支持部のバネ定数と第1支持部の変形による連結部に対する変位と第2支持部の変形による連結部に対する変位とを用いて測定対象の変形量と測定対象のバネ定数を計算する。【選択図】図1
Claim (excerpt)：
変形可能な微小な測定対象に作用させた力に対する前記測定対象の物理量を測定する微小物理量測定器であって、
前記測定対象に当接する第1当接部を片持ち梁状に支持する第1支持部と、
当接面に当接する第2当接部を片持ち梁状に支持する第2支持部と、
前記第1支持部と前記第2支持部とを連結する連結部と、
所定力を作用させたときの前記第1支持部の変形による前記連結部に対する変位を検出する第1変位検出部と、
前記所定力を作用させたときの前記第2支持部の変形による前記連結部に対する変位を検出する第2変位検出部と、
を備える微小物理量測定器。
IPC (1)：
FI (1)：
F-Term (8)：
2G061BA06
, 2G061DA01
, 2G061DA20
, 2G061EA02
, 2G061EA04
, 2G061EB04
, 2G061EB07
, 2G061EB10
Cited by examiner (7)
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