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J-GLOBAL ID：201803020424336927

表面検査装置及び表面検査方法。

Inventor： 東谷 力雄 ,  篠田 貴宏 ,  山内 健次 ,  森 健策
Applicant, Patent owner： 三友工業株式会社
Agent (2)： ▲高▼荒 新一 ,  江口 基
Gazette classification：特許公報
Application number (International application number)：2015005227
Publication number (International publication number)：2016130695
Patent number：6231505
Application date： Jan. 14, 2015
Publication date： Jul. 21, 2016
Claim (excerpt)：

【請求項1】 検査対象物の表面を検査する表面検査装置であって、 前記検査対象物を積置する積置面と、 前記検査対象物の表面側に位置し、複数種類の光表示パターンを表示可能な表示手段と、 前記表示手段で表示され、前記検査対象物の表面によって反射された光表示パターンを撮像する撮像手段と、 前記撮像手段が撮像した光表示パターンに基づいて、検査対象物の表面に異常が存在するか否かを判定する検査手段と、 を備え、 前記表示手段は、前記撮像手段で撮像した前記検査対象物が移動する場合には、前記検査対象物の移動に伴って前記光表示パターンを移動することを特徴とする、 表面検査装置。

IPC (1)：

G01N 21/88 ( 200 6.01)

FI (1)：

G01N 21/88 Z

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (7)

• 修正装置、修正方法、制御装置、およびプログラム
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願2008-111278   Applicant：オリンパス株式会社
• 表面欠陥検査装置及び表面欠陥検査方法
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願2008-003375   Applicant：倉敷紡績株式会社, 丸紅テクノシステム株式会社, 株式会社アキュイティ
• 表面性状測定装置および表面性状測定方法
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願2010-103158   Applicant：アークハリマ株式会社
• 表面検査装置
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願2007-027169   Applicant：有限会社シマテック
• フィルム表面欠陥検査装置、フィルム表面欠陥検査方法及び光学フィルムの製造方法
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願2009-102823   Applicant：コニカミノルタオプト株式会社
• 検査方法及び検査装置
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願2011-079528   Applicant：富士通株式会社
• 顕微鏡を用いた3次元画像認識装置
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平8-211652   Applicant：株式会社テクノホロン