検査方法及び検査装置

Inventor： , , ,
Applicant, Patent owner：
Agent (4)：青木篤 , 伊坪公一 , 樋口外治 , 小林龍
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2011079528
Publication number (International publication number)：2012127934
Application date： Mar. 31, 2011
Publication date： Jul. 05, 2012
Summary：

【課題】被検査面における欠陥の位置に依存せずに欠陥の有無を判断できる検査方法及び検査装置を提供する。【解決手段】本明細書に開示する欠陥の検査方法は、明部11b及び暗部11cを有する照明パターンを、被検査面21に照射し、被検査面21の同じ領域が、明部11bで照らされる第1画像30a及び暗部11cで照らされる第2画像30bを取得し、被検査面21の所定領域に対応する第1画像30a内の領域の輝度と、基準被検査面が明部11bで照らされて取得された第1基準画像内の被検査面の上記所定領域に対応する領域の輝度と、被検査面21の被検査面21の所定領域に対応する前記第2画像30b内の領域の輝度と、基準被検査面が暗部11cで照らされて取得された第2基準画像内の被検査面の上記所定領域に対応する領域の輝度とに基づいて、被検査面21の所定領域の欠陥の有無を判断する。【選択図】図6

Claim (excerpt)：

明部及び暗部を有する照明パターンを、被検査面に照射し、被検査面の同じ領域が、前記明部で照らされる第1画像及び前記暗部で照らされる第2画像を取得し、被検査面の所定領域に対応する前記第1画像内の領域の輝度と、基準被検査面が前記明部で照らされて取得された第1基準画像内の被検査面の前記所定領域に対応する領域の輝度と、前記所定領域に対応する前記第2画像内の領域の輝度と、基準被検査面が前記暗部で照らされて取得された第2基準画像内の被検査面の前記所定領域に対応する領域の輝度とに基づいて、前記所定領域の欠陥の有無を判断する検査方法。

IPC (1)：

G01N 21/88

FI (1)：

G01N21/88 J

F-Term (12)：

2G051AA73 , 2G051AA90 , 2G051AB12 , 2G051BA20 , 2G051BB07 , 2G051CA03 , 2G051CA04 , 2G051CB01 , 2G051DA06 , 2G051EA14 , 2G051EA17 , 2G051ED11

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (6)

被検物の欠点検査方法および検査装置
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平11-115543 Applicant：旭硝子株式会社
欠陥検出方法およびその方法を用いた視覚検査装置
Gazette classification：公開公報 Application number：特願2008-307926 Applicant：オムロン株式会社
表面検査方法および装置
Gazette classification：公開公報 Application number：特願2008-070506 Applicant：パナソニック株式会社

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Article cited by the Patent：

Cited by examiner (1)

「面型パターン照明を用いた凹凸判定機能付き欠陥検査法の開発」

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