成膜方法

Inventor： , , , ,
Applicant, Patent owner： , ,
Agent (1)：特許業務法人前田特許事務所
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2017042037
Publication number (International publication number)：2018145478
Application date： Mar. 06, 2017
Publication date： Sep. 20, 2018
Summary：

【課題】長尺細管の医療用材料の内壁面にDLC膜を容易に形成できるようにする。【解決手段】成膜方法は、内部圧力を調整可能なチャンバ101内に、非導電性の長尺細管102を配置し、炭化水素を含む原料ガスを供給した状態において、長尺細管102の内部にプラズマを発生させて、長尺細管102の内壁面にダイヤモンドライクカーボン膜を形成する工程を備えている。長尺細管102は、一方の端部に放電電極125が配置され、他方の端部は開放された状態で、チャンバ101内に配置する。放電電極125と、長尺細管102から離間して設けられた対向電極126との間に断続的に交流バイアスを印加する。【選択図】図1

Claim (excerpt)：

内部圧力を調整可能なチャンバ内に、非導電性の長尺細管を配置し、炭化水素を含む原料ガスを供給した状態において、前記長尺細管の内部にプラズマを発生させて、前記長尺細管の内壁面にダイヤモンドライクカーボン膜を形成する工程を備え、前記長尺細管は、一方の端部に放電電極が配置され、他方の端部は開放された状態で、前記チャンバ内に配置し、前記放電電極と、前記長尺細管から離間して設けられた対向電極との間に断続的に交流バイアスを印加する、成膜方法。

IPC (10)：

C23C 16/27 , C23C 16/503 , C01B 32/05 , A61L 27/50 , A61L 29/14 , A61L 27/56 , A61L 27/30 , A61L 29/10 , A61F 2/06 , A61M 25/00

FI (10)：

C23C16/27 , C23C16/503 , C01B32/05 , A61L27/50 300 , A61L29/14 400 , A61L27/56 , A61L27/30 100 , A61L29/10 , A61F2/06 , A61M25/00 500

F-Term (36)：

4C081AB13 , 4C081AC08 , 4C081BA06 , 4C081DA03 , 4C081DB03 , 4C081DC03 , 4C081EA15 , 4C097AA15 , 4C097CC02 , 4C097MM01 , 4C167AA01 , 4C167FF01 , 4G146AA05 , 4G146AB07 , 4G146AC16B , 4G146AD40 , 4G146BA12 , 4G146BA48 , 4G146BC01 , 4G146BC09 , 4G146BC16 , 4G146BC19 , 4G146BC27 , 4G146BC32B , 4G146BC38B , 4G146DA03 , 4G146DA16 , 4G146DA23 , 4G146DA33 , 4G146DA40 , 4G146DA46 , 4K030AA09 , 4K030BA28 , 4K030CA07 , 4K030CA15 , 4K030FA01

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (6)

細管内プラズマ発生法とこれを用いた薄膜堆積方法及び細管内壁面改質方法
Gazette classification：公開公報 Application number：特願2007-028491 Applicant：国立大学法人東北大学
人工血管およびその製造方法
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平4-076261 Applicant：株式会社人工血管技術研究センター
管状四弗化エチレン樹脂多孔質体とその製造方法
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平5-055118 Applicant：住友電気工業株式会社

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