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J-GLOBAL ID：201902233677762644   Reference number：19A1565923

Development of Electrostatic-type Aberration Corrector with Annular and Circular Electrodes for SEMs

SEM用の環状および円形状電極による静電タイプ収差補正の開発

Author (8)： KAWASAKI Tadahiro (Japan Fine Ceramics Center, Nagoya, JPN) ,  YOSHIDA Ryuji (Japan Fine Ceramics Center, Nagoya, JPN) ,  KATO Takeharu (Japan Fine Ceramics Center, Nagoya, JPN) ,  NOMAGUCHI Tsunenori (Hitachi High-Technol., Hitachinaka, JPN) ,  MOTOMURA Shunichi (Hitachi High-Technol., Hitachinaka, JPN) ,  NISHINAKA Kenichi (Hitachi High-Technol., Hitachinaka, JPN) ,  AGEMURA Toshihide (Hitachi High-Technol., Hitachinaka, JPN) ,  IKUTA Takashi (Osaka Electro-Communication Univ., Neyagawa, JPN)
Material： AMTC Letters  (International Journal of Advanced Microscopy and Theoretical Calculations)
Volume： 6  Page： 64-65  Publication year： Jun. 2019 
JST Material Number： L7013A  ISSN： 1882-9465  Document type： Proceedings
Article type： 短報  Country of issue： Japan (JPN)  Language： ENGLISH (EN)

Thesaurus term： *scanning electron microscope ,  *aberration correction ,  electrode ,  round shape ,  morphology (form) ,  Static Electricity ,  cyclic

JST classification (1)： Electron and ion microscopes  (BD02050B)

Terms in the title (6)： SEM ,  環状 ,  円形状 ,  タイプ ,  収差補正 ,  開発