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J-GLOBAL ID：201902233677762644   整理番号：19A1565923

SEM用の環状および円形状電極による静電タイプ収差補正の開発

Development of Electrostatic-type Aberration Corrector with Annular and Circular Electrodes for SEMs

著者 (8件)： KAWASAKI Tadahiro (Japan Fine Ceramics Center, Nagoya, JPN) ,  YOSHIDA Ryuji (Japan Fine Ceramics Center, Nagoya, JPN) ,  KATO Takeharu (Japan Fine Ceramics Center, Nagoya, JPN) ,  NOMAGUCHI Tsunenori (Hitachi High-Technol., Hitachinaka, JPN) ,  MOTOMURA Shunichi (Hitachi High-Technol., Hitachinaka, JPN) ,  NISHINAKA Kenichi (Hitachi High-Technol., Hitachinaka, JPN) ,  AGEMURA Toshihide (Hitachi High-Technol., Hitachinaka, JPN) ,  IKUTA Takashi (Osaka Electro-Communication Univ., Neyagawa, JPN)
資料名： AMTC Letters  (AMTC Letters)
巻： 6  ページ： 64-65  発行年： 2019年06月 
JST資料番号： L7013A  ISSN： 1882-9465  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 短報  発行国： 日本 (JPN)  言語： 英語 (EN)

シソーラス用語： *走査電子顕微鏡 ,  *収差補正 ,  電極 ,  円形 ,  形態 ,  静電気 ,  環状

分類 (1件)： 電子顕微鏡,イオン顕微鏡  (BD02050B)

タイトルに関連する用語 (6件)： SEM ,  環状 ,  円形状 ,  タイプ ,  収差補正 ,  開発