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J-GLOBAL ID：201902280556671812   Reference number：19A2185326

Deposition Temperature Effect on the Character of Flexible AZO/Ag/AZO Transparent Conductive Film

フレキシブルなAZO/Ag/AZO透明導電膜の特性に対する成膜温度による影響

Author (4)： HIDAKA HIKARU (鹿児島工業高等専門学校機械・電子システム工学専攻) ,  YOSHIMURA YUKIO (鹿児島県工業技術センター地域資源部シラス研究開発室) ,  MANZEN ISSEI (鹿児島工業高等専門学校機械・電子システム工学専攻) ,  NITTA ATSUSHI (鹿児島工業高等専門学校電子制御工学科)
Material： 表面と真空  (Vacuum and Surface Science)
Volume： 62  Issue： 7  Page： 443-447(J-STAGE)  Publication year： 2019 
JST Material Number： G0194B  ISSN： 2433-5835  Document type： Article
Article type： 原著論文  Country of issue： Japan (JPN)  Language： JAPANESE (JA)

Thesaurus term： *flexible circuit board ,  *transparent conducting thin films ,  flexibility ,  *zinc oxide ,  *Silver ,  *multilayer film ,  interdiffusion ,  room temperature ,  Diffusion ,  transmissivity ,  electrical resistivity ,  sputtered deposition ,  magnetron sputtering ,  electron beam deposition ,  polyethylene naphthalate ,  light transmission ,  oxygen diffusion
Semi thesaurus term： *Al-doped ZnO ,  RF magnetron sputtering ,  flexible device

Author keywords (8)： AZO/Ag/AZO ,  flexible transparent conductive film ,  RF magnetron sputtering ,  electron beam evaporation ,  AZO/Ag/AZO ,  flexible transparent conductive film ,  RF magnetron sputtering ,  electron beam evaporation

JST classification (2)： Techniques and equipment of thin film deposition  (BK14020I) ,  Materials of solid-state devices  (NC03020K)

Reference (19)：

• 1) X. Shen, M. Yang, C. Zhang, Z. Qiao, H. Wang and C. Tang : Superlattices Microstruct. 123, 251 (2018).
• 2) U. Betz, M. Kharrazi Olsson, J. Marthy, M.F. Escola and F. Atamny : Surf. Coat. Tech. 200, 5751 (2006).
• 3) F. Li, Y. Zhang, C. Wu, Z. Lin, B. Zhang and T. Guo : Vacuum 86, 1895 (2012).
• 4) Y. Xia, P. Wang, S. Shi, M. Zhang, G. He, J. Lv and Z. Sun : Ceram. Int. 43, 4536 (2017).
• 5) B. Sun, X. Zhang, G. Zhou, T. Yu, S. Mao, S. Zhu, Y. Zhao and Y. Xia : J. Colloid Interface Sci. 520, 19 (2018).

Terms in the title (4)： Azo ,  Ag ,  透明導電膜 ,  成膜温度