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J-GLOBAL ID：201902288642163085   Reference number：19A1376423

自己組織化単分子膜によるInGaZnO/イオン液体界面反応の保護作用

Author (7)： ISHIDA SHOUMA (奈良工高専) ,  FUJII MAMI (奈良先端科学技術大学院大) ,  LIU Yang (奈良先端科学技術大学院大) ,  YAMADA HIROHISA (奈良工高専) ,  ISHIKAWA YASUAKI (奈良先端科学技術大学院大) ,  FUJITA NAOYUKI (奈良工高専) ,  URAOKA YUKIHARU (奈良先端科学技術大学院大)
Material： 応用物理学会春季学術講演会講演予稿集(CD-ROM)  (Extended Abstracts. JSAP Spring Meeting (CD-ROM))
Volume： 66th  Page： ROMBUNNO.12a-PA3-18  Publication year： Feb. 25, 2019 
JST Material Number： Y0054B  ISSN： 2758-4704  Document type： Proceedings
Article type： 短報  Country of issue： Japan (JPN)  Language： JAPANESE (JA)

Thesaurus term： *monomolecular layer ,  *gallium compound ,  *zinc compound ,  *indium oxide ,  *ionic liquid ,  heterogeneous reaction ,  protective action ,  transistor ,  sputtered deposition ,  magnetron sputtering ,  interfacial reaction ,  *self-assembled monolayer ,  *indium gallium zinc oxide
Semi thesaurus term： *self-assembled monolayer ,  *IGZO(semiconductor) ,  electric double layer transistor ,  RF magnetron sputtering

JST classification (2)： Other contacts  (BM03088W) ,  Solid-liquid interface  (CB12050B)

Terms in the title (4)： 自己組織化単分子膜 ,  イオン液体 ,  界面反応 ,  保護作用