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J-GLOBAL ID：202002246840388643   Reference number：20A2236908

Large-Scale Evaluation of MIM Devices Using High-Precision Current Measurement Array Test Circuit

高精度電流計測アレイテスト回路を用いたMIM素子の大規模測定

Author (9)： SUZUKI HAYATO (東北大 大学院) ,  PARK Hyeonwoo (東北大 大学院) ,  TERAMOTO AKINOBU (広島大) ,  TERAMOTO AKINOBU (東北大 NICHe) ,  KURODA RIHITO (東北大 大学院) ,  KURODA RIHITO (東北大 NICHe) ,  SUWA TOMOYUKI (東北大 NICHe) ,  SUGAWA SHIGETOSHI (東北大 大学院) ,  SUGAWA SHIGETOSHI (東北大 NICHe)
Material： 応用物理学会春季学術講演会講演予稿集(CD-ROM)  (Extended Abstracts. JSAP Spring Meeting (CD-ROM))
Volume： 67th  Page： ROMBUNNO.12p-A305-7  Publication year： Feb. 28, 2020 
JST Material Number： Y0054B  ISSN： 2758-4704  Document type： Proceedings
Article type： 短報  Country of issue： Japan (JPN)  Language： JAPANESE (JA)

Thesaurus term： condenser (capacitor) ,  voltage ,  *electric current ,  semiconductor device ,  yield (ratio) ,  voltage fluctuation ,  current-voltage characteristic ,  leakage current ,  insulating film ,  plasma CVD ,  production process ,  *current measurement ,  *test structure ,  film deposition
Semi thesaurus term： 電圧波形 , 【Automatic Indexing@JST】

JST classification (1)： Semiconductor integrated circuit  (NC03162T)

Terms in the title (5)： 電流計測 ,  アレイ ,  テスト回路 ,  MIM素子 ,  大規模