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J-GLOBAL ID：202002258466080500   Reference number：20A0023765

Annealing effects on the properties of nitrogen doped DLC films

窒素を添加したDLC膜特性へのアニール効果

Author (8)： OSANAI HIROYA (弘前大 大学院理工学研究科) ,  NAKAMURA KAZUKI (弘前大 大学院理工学研究科) ,  KOORIYAMA HARUTO (弘前大 大学院理工学研究科) ,  KOBAYASHI YASUYUKI (弘前大 大学院理工学研究科) ,  ENTA YOSHIHARU (弘前大 大学院理工学研究科) ,  SUZUKI YUUSHI (弘前大 大学院理工学研究科) ,  SUEMITSU MAKI (東北大 電通研) ,  NAKAZAWA HIDEKI (弘前大 大学院理工学研究科)
Material： 電子情報通信学会技術研究報告  (IEICE Technical Report (Institute of Electronics, Information and Communication Engineers))
Volume： 119  Issue： 271(CPM2019 44-51)  Page： 9-14  Publication year： Oct. 31, 2019 
JST Material Number： S0532B  ISSN： 0913-5685  Document type： Proceedings
Article type： 原著論文  Country of issue： Japan (JPN)  Language： JAPANESE (JA)

Thesaurus term： *diamond-like carbon ,  *plasma CVD ,  Nitrogen ,  *annealing (phenomenon) ,  optical gap ,  heterojunction ,  current-voltage characteristic ,  rectification (electric) ,  Raman spectrum

JST classification (1)： Semiconductor thin films  (BK14040E)

Reference (17)：

• Z.-C. Hong and S.-T. Shiue, Thin Solid Films, Effects of annealing temperature on characteristics of amorphous nickel carbon thin film alloys deposited on n-type silicon substrates by reactive sputtering, vol.618, Part A, pp.21-27, 2016.
• S. Nakao, T. Kimura, T. Suyama, and K. Azuma, Conductive diamond-like carbon films prepared by high power pulsed magnetron sputtering with bipolar type plasma based ion implantation, Diamond Relat. Mater., vol.77, pp.122-130, 2017.
• A. Shimizu and M. Kawaguchi, The effect of heat treatment on the hydrogen content of DLC films, Bulletin of Tokyo Metropolitan Industrial Technology Research Institute, no.9, pp.68-69, 2014.
• M.J. Son, T.F. Zhang, Y.J. Jo, K.H. Kim, Enhanced electrochemical properties of the DLC films with a arc interlayer, nitrogen doping and annealing, Surf. Coat. Technol., vol.329, pp.77-85, 2017.
• T.I.T. Okpalugo, P.D. Maguire, A.A. Ogwu, and J.A.D. McLaughlin, The effect of silicon doping and thermal annealing on the electrical and structural properties of hydrogenated amorphous carbon thin films, Diamond Relat. Mater., vol.13, no.4-8, pp.1549-1552, 2004.

Terms in the title (4)： 窒素 ,  DLC ,  膜特性 ,  アニール効果