Art

J-GLOBAL ID：202002259078966403   Reference number：20A0844417

階層型微細機能構造創製に関する研究(第2報)-インプロセス干渉縞計測による多重干渉リソグラフィーの露光制御-

Author (4)： MASUI SHUZO (東大) ,  MICHIHATA MASAKI (東大) ,  TAKAMASU KIYOSHI (東大) ,  TAKAHASHI SATORU (東大)
Material： 精密工学会大会学術講演会講演論文集  (精密工学会大会シンポジウム資料集)
Volume： 2020  Issue： 春季(CD-ROM)  Page： ROMBUNNO.A10  Publication year： Mar. 01, 2020 
JST Material Number： Y0914A  Document type： Proceedings
Article type： 短報  Country of issue： Japan (JPN)  Language： JAPANESE (JA)

Thesaurus term： *hierarchical structure ,  *micro structure ,  *structure formation ,  *in-process measurement ,  *interference fringe ,  lithography ,  *exposure (photography) ,  *optimum control ,  analysis (separation) ,  *gas laser ,  *laser application ,  interference lithography ,  He-Cd laser ,  experimental analysis ,  *measurement
Semi thesaurus term： *microstructure ,  experimental analysis

JST classification (3)： Manufacturing technology of solid-state devices  (NC03030V) ,  Applications of lasers  (BD04100V) ,  System design and analysis  (IA02030D)

Reference (5)：

• J. F. Lepage, and N. McCarthy, Appl. Opt., 43(17), 3504-3512, (2004).
• Kinoshita H., et al. J. Vac. Sci. Technol. A, 1(4), 1276-1279, (1983).
• S. H. Zaidi, and S. J. Brueck, J. Vac. Sci. Technol. B, 11(3), 658-666, (1993).
• S. Sohail, et al., J. Vac. Sci. Technol. B, 12(6), 3600-3606, (1994).
• J. E. Harvey, and R. N. Pfisterer, Opt. Eng., 58(8), 087105, (2019).

Terms in the title (9)： 階層 ,  創製 ,  研究 ,  プロセス ,  干渉縞 ,  計測 ,  多重 ,  干渉リソグラフィー ,  露光制御