磁気センサおよびその製造方法

Inventor： , , , , , , , , , ,
Applicant, Patent owner： , ,
Agent (1)：特許業務法人ゆうあい特許事務所
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2019058662
Publication number (International publication number)：2020161604
Application date： Mar. 26, 2019
Publication date： Oct. 01, 2020
Summary：

【課題】検出感度を向上できる磁気センサを提供する。【解決手段】磁化方向が固定されている磁化固定層60と、外部磁場によって磁化方向が変化する磁場検出層80と、磁化固定層60と磁場検出層70との間に配置され、磁化固定層60の磁化方向と磁場検出層80の磁化方向との間の成す角度によって抵抗値が変化するトンネル層70と、磁化固定層60、トンネル層70、磁場検出層80が積層されて配置される基板10と、を備える。そして、基板10に、アモルファス層または微結晶層で構成され、基板10側と反対側の一面41が平坦面とされた平坦化層40を配置し、磁化固定層60、トンネル層70、磁場検出層80を平坦化層40上に積層して配置する。【選択図】図1

Claim (excerpt)：

磁化固定層(60)と磁場検出層(80)との間にトンネル層(70)が配置された磁気センサであって、磁化方向が固定されている前記磁化固定層と、外部磁場によって磁化方向が変化する前記磁場検出層と、前記磁化固定層と前記磁場検出層との間に配置され、前記磁化固定層の磁化方向と前記磁場検出層の磁化方向との間の成す角度によって抵抗値が変化する前記トンネル層と、前記磁化固定層、前記トンネル層、前記磁場検出層が積層されて配置される基板(10)と、を備え、前記基板上には、アモルファス層または微結晶層で構成され、前記基板側と反対側の一面(41)が平坦面とされた平坦化層(40)が配置されており、前記磁化固定層、前記トンネル層、前記磁場検出層は、前記平坦化層上に積層されて配置されている磁気センサ。

IPC (4)：

H01L 43/10 , H01L 43/08 , H01L 43/12 , G01R 33/09

FI (4)：

H01L43/10 , H01L43/08 Z , H01L43/12 , G01R33/09

F-Term (23)：

2G017AA01 , 2G017AD55 , 2G017AD65 , 5F092AA01 , 5F092AB01 , 5F092AC12 , 5F092AD23 , 5F092BB10 , 5F092BB12 , 5F092BB17 , 5F092BB22 , 5F092BB23 , 5F092BB36 , 5F092BB43 , 5F092BB53 , 5F092BB55 , 5F092BC03 , 5F092BC04 , 5F092BC07 , 5F092BE04 , 5F092BE06 , 5F092CA19 , 5F092CA25

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (6)

磁気検出素子及びその製造方法
Gazette classification：公開公報 Application number：特願2007-128827 Applicant：TDK株式会社
磁気抵抗素子の製造方法及び磁気抵抗素子の製造システム
Gazette classification：公開公報 Application number：特願2015-207745 Applicant：東京エレクトロン株式会社
磁気抵抗効果素子およびこれを有する磁気メモリ
Gazette classification：公開公報 Application number：特願2002-088827 Applicant：株式会社東芝

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