静電型デバイスおよび静電型デバイス製造方法

Inventor： , ,
Applicant, Patent owner： ,
Agent (2)：永井冬紀 , 池田恵一
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2019106230
Publication number (International publication number)：2020202613
Application date： Jun. 06, 2019
Publication date： Dec. 17, 2020
Summary：

【課題】コスト低減を図ることができる静電型デバイスの提供。【解決手段】振動発電素子1は、固定部11と、可動部12と、可動部12と一体に形成され、可動部12を弾性支持する弾性支持部13と、固定部11および弾性支持部13が互いに分離状態で陽極接合されているガラス製のベース部10と、を備える。振動発電素子の製造方法は、前記固定部、前記可動部および前記弾性支持部を基板に一体状態で形成し、前記ベース部と基板とを陽極接合して前記固定部および前記弾性支持部を前記ベース部に固定し、前記基板をエッチングして前記固定部と前記弾性支持部とを互いに分離する。【選択図】図1

Claim (excerpt)：

固定部と、可動部と、前記可動部と一体に形成され、前記可動部を弾性支持する弾性支持部と、前記固定部および前記弾性支持部が互いに分離状態で陽極接合されているガラス製のベース部と、を備える静電型デバイス。

IPC (3)：

H02N 1/00 , B81B 3/00 , B81C 3/00

FI (3)：

H02N1/00 , B81B3/00 , B81C3/00

F-Term (17)：

3C081AA17 , 3C081BA07 , 3C081BA22 , 3C081BA44 , 3C081BA46 , 3C081BA48 , 3C081BA53 , 3C081CA02 , 3C081CA05 , 3C081CA14 , 3C081CA29 , 3C081CA33 , 3C081DA03 , 3C081DA04 , 3C081DA06 , 3C081DA43 , 3C081EA41

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (11)

発電デバイス
Gazette classification：公開公報 Application number：特願2008-164678 Applicant：パナソニック電工株式会社
調整可能なMEMSエタロン
Gazette classification：公表公報 Application number：特願2018-501866 Applicant：テクノロジーイノベーションモメンタムファンド(イスラエル)リミテッドパートナーシップ
電子デバイス及びその製造方法、並びに電子機器
Gazette classification：公開公報 Application number：特願2012-124576 Applicant：セイコーエプソン株式会社

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