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J-GLOBAL ID：202104009331184340
Research Project code：08000512 粒子分散型機能性流体による電界ブレードを用いた微細加工技術の開発と応用
粒子分散型機能性流体による電界ブレードを用いた微細加工技術の開発と応用
ClipsOrganization (1)：
秋田県産業技術総合研究センター
About 秋田県産業技術総合研究センター
Principal investigator：
赤上 陽一
(
About 赤上 陽一
秋田県産業技術総合研究センター
, 工業技術センター, 主任研究員 )
About 秋田県産業技術総合研究センター
Research overview：
安価・簡便、高い信頼性の遺伝子解析機器の創出のため、マイクロ流路を容易に創製する加工技術の確立に向けた低環境負荷下における微細加工技術を開発する。現在までに、砥粒を分散させた機能性流体に電界を印加しその増粘効果を用いた、いわゆる電界砥粒制御技術を開発しており、この技術を微細流路加工に用いることで、半導体技術に依存せずに容易に数μm~数十μm幅を有するマイクロ流路の形成方法を開発する。
Terms in the title (7)：
Research program： Terms in the title
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機能性流体
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