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Proj
J-GLOBAL ID：202104016468294816
Research Project code：16808661 高密度で微細粒なIGZO用スパッタリングターゲット材の開発
高密度で微細粒なIGZO用スパッタリングターゲット材の開発
ClipsStudy period：2016 - 2016
Organization (1)：
地方独立行政法人北海道立総合研究機構
About 地方独立行政法人北海道立総合研究機構
Research responsibility：
中嶋 快雄
(
About 中嶋 快雄
地方独立行政法人北海道立総合研究機構
, 産業技術研究本部工業試験場, 研究主任 )
About 地方独立行政法人北海道立総合研究機構
DOI： https://doi.org/10.52926/JPMJTM16AF
Terms in the title (5)：
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微細粒
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IGZO
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スパッタリングターゲット材
, About スパッタリングターゲット材
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Organization with control over the research：
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