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J-GLOBAL ID：202104018668894268
Research Project code：16817488 室温原子層堆積法による金属酸化物ナノコーティング技術の事業化
室温原子層堆積法による金属酸化物ナノコーティング技術の事業化
Study period：2016 - 2018
Organization (1)：
山形大学
About 山形大学
Principal investigator：
廣瀬 文彦
(
About 廣瀬 文彦
山形大学
, 大学院理工学研究科, 教授 )
About 山形大学
DOI： https://doi.org/10.52926/JPMJST1619
Research overview：
本プロジェクトでは、室温(無加熱)で、金属酸化物(セラミック等)を、多種の素材からなる複雑形状の対象物に、ナノメートル単位で均一にコーティングすることができる小型コーティング装置を開発する。本技術により、製造装置の内部や、精密部品・有機エレクトロニクス部材などへのコーティングサービスを提供するベンチャーの設立を目指す。
Terms in the title (5)：
Research program： Terms in the title
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室温
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原子層堆積法
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