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J-GLOBAL ID：202203003357075901

窒化アルミニウム結晶の製造方法

Inventor： 安達 正芳 ,  福山 博之 ,  大塚 誠 ,  神原 新
Applicant, Patent owner： 国立大学法人東北大学
Agent (1)： 楠 修二
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2020141981
Publication number (International publication number)：2022037713
Application date： Aug. 25, 2020
Publication date： Mar. 09, 2022
Summary：

【課題】安価かつ、より大きい成長速度で窒化アルミニウム結晶を製造することができる窒化アルミニウム結晶の製造方法の提供。 【解決手段】Alを含む合金の融液7を、窒化アルミニウムを含む焼結体に接触させた状態で、融液7中で窒化アルミニウム結晶が分解される温度範囲のうちの最低温度より高い温度に加熱する加熱工程と、加熱工程の後、融液7を、合金の液相線温度以上かつ窒化アルミニウム結晶が分解される最低温度よりも低い温度まで低下させることにより、融液7中で窒化アルミニウム結晶を析出させる析出工程とを、有する窒化アルミニウム結晶の製造方法。加熱工程および析出工程を、窒素を含む雰囲気中で行う窒化アルミニウム結晶の製造方法。 【選択図】図2

Claim (excerpt)：

Alを含む合金の融液を、窒化アルミニウムを含む焼結体に接触させた状態で、前記融液中で窒化アルミニウム結晶が分解される温度範囲のうちの最低温度より高い温度に加熱する加熱工程と、 前記加熱工程の後、前記融液を、前記合金の液相線温度以上かつ前記最低温度よりも低い温度まで低下させることにより、前記融液中で窒化アルミニウム結晶を析出させる析出工程とを、 有することを特徴とする窒化アルミニウム結晶の製造方法。

IPC (3)：

C30B 29/38 ,  C30B 19/04 ,  C30B 19/10

FI (3)：

C30B29/38 C ,  C30B19/04 ,  C30B19/10

F-Term (11)：

4G077AA02 ,  4G077BE13 ,  4G077CG02 ,  4G077CG07 ,  4G077ED01 ,  4G077EH07 ,  4G077HA02 ,  4G077QA04 ,  4G077QA12 ,  4G077QA34 ,  4G077QA38

Patent cited by the Patent：

Cited by applicant (3)

• III族窒化物基板の製造方法および半導体装置
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願2003-011571   Applicant：松下電器産業株式会社
• 窒化物結晶の製造方法、混合物、液相成長方法、窒化物結晶、窒化物結晶粉末、および気相成長方法
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平10-112052   Applicant：日立電線株式会社
• 窒化アルミニウム結晶の製造方法
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願2018-087979   Applicant：国立大学法人東北大学

Cited by examiner (2)

• AlN単結晶の製造方法
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願2005-128206   Applicant：住友金属工業株式会社
• 窒化アルミニウム結晶の製造方法
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願2018-087979   Applicant：国立大学法人東北大学