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J-GLOBAL ID:202303009004274396

モニタリング装置及びモニタリング方法

Inventor:
Applicant, Patent owner:
Agent (10): 弁理士法人南青山国際特許事務所 ,  大森 純一 ,  高橋 満 ,  中村 哲平 ,  折居 章 ,  関根 正好 ,  金子 彩子 ,  金山 慎太郎 ,  千葉 絢子 ,  白鹿 智久
Gazette classification:特許公報
Application number (International application number):2019029056
Publication number (International publication number):2020134347
Patent number:7320214
Application date: Feb. 21, 2019
Publication date: Aug. 31, 2020
Claim (excerpt):
【請求項1】 粒径の異なる物が多層化又は混合物化した堆積物に電磁波を照射し、前記堆積物から得られる前記電磁波の応答特性を観測する観測部と、 前記観測部の観測結果から、前記応答特性としてピーク輝度及び散乱光の総光量を得て、前記ピーク輝度と前記散乱光の総光量との相関関係に基づき、多層化又は混合物化した前記堆積物を構成する複数の物のそれぞれの粒径を推定する推定部と を具備するモニタリング装置。
IPC (2):
G01N 21/47 ( 200 6.01) ,  G01N 21/27 ( 200 6.01)
FI (2):
G01N 21/47 B ,  G01N 21/27 A
Patent cited by the Patent:
Cited by applicant (9)
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Cited by examiner (9)
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