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J-GLOBAL ID：201002259607728190   整理番号：10A0029854

高周波水中プラズマの分光分布測定

Distribution measurement of radio-frequency plasma in water by spectroscopic analysis

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著者 (3件)： 向笠忍 (愛媛大) ,  野村信福 (愛媛大) ,  豊田洋通 (愛媛大)
資料名： 日本機械学会熱工学コンファレンス講演論文集  (Proceedings of Thermal Engineering Conference)
巻： 2009  ページ： 99-100  発行年： 2009年11月06日 
JST資料番号： L0417A  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 短報  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： 水中に27.12MHzの高周波を照射して発生するプラズマについて圧力を変えて多点分光測定を行った。強い発光種としてHα,Hβ,OH(309nm),O(777nm),O(845nm)の5つが観測され,OH以外の発光強度分布はほぼ同じ場所となるのに対しOHのみが上にずれる。電子温度は圧力の増加にともない減少し,その分布の様子は約50kPaで大きな変化がみられる。OHの回転温度は圧力の増加にともない増加し,すべての圧力に対してOHの最大発光強度位置から上へ0.5~1mmの位置で最大となる。(著者抄録)

シソーラス用語： プラズマ ,  *スペクトロスコピー ,  電子温度 ,  回転温度 ,  発光強度
準シソーラス用語： *高周波水中プラズマ ,  分光分布測定 ,  *OH基 ,  高周波

分類 (1件)： プラズマ応用  (BJ02110K)

タイトルに関連する用語 (3件)： 高周波 ,  水中プラズマ ,  分光分布